中古 KLA / TENCOR Puma 9120-IS #9016502 を販売中

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ID: 9016502
Patterned wafer inspection system, 2007 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9120-ISは、半導体業界で使用される完全自動化されたウェーハ計測および試験装置です。集積回路(IC)の電気的・物理的特性(0。1ミクロン程度の小さな特徴を含む)を測定・解析することができます。KLA Puma 9120-ISは、CCDカメラと拡大レンズを使用してウェーハ上のデバイス構造などの詳細な特性を測定する強力な光学顕微鏡システムを備えています。5x5ミクロンの解像度で画像をキャプチャし、30ナノメートルの3D深度より小さい機能をキャプチャすることができます。また、デバイスの線形パターンや角度パターンを30ミクロン以上まで測定できるため、微細なレベルでの精度が得られます。デバイスの性能を評価、分析、トラブルシューティングするために、ウェーハ間のアクティブアライメント測定、座標測定機(CMM)、可変角度分光楕円計測(VASE)など、さまざまな技術を利用しています。TENCOR Puma 9120-ISは、高度な分析測定のための3つのツールをユーザーに提供することにより、ICの電気的および物理的特性評価のための優れたプラットフォームです。試験機能の面では、Puma 9120-ISは表面測定、プロービング、電気プロトコルテスト、リーク基板試験、ダイプルテストなど、さまざまな試験を行うことができます。また、DRAM、フラッシュデバイス、EPROM、 OTP、 LCDなどの幅広いデバイスのウェハレベルの強化テストも可能です。さらに、Pumaは最大200mm径のウェーハの自動ウェーハ処理にも対応しています。また、アルゴリズムによる自動レビューとユーザー定義の基準の両方を備えた統合欠陥レビューツールを提供しており、より迅速な問題解決を可能にします。KLA/TENCOR Puma 9120-ISは、集積回路の特性評価、テスト、トラブルシューティングに理想的な測定精度を提供する高性能な機器です。さまざまな集積回路に対応し、オートフォーカスおよび自動測定技術をサポートすることで、正確な結果を確保し、時間を節約できます。
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