中古 KLA / TENCOR Puma 9100 #9023788 を販売中

KLA/TENCOR Puma 9100ウェハテストおよび計測機器は、半導体計測および検査の世界的リーダーであるKLA Corporationの最新製品です。この汎用性の高いシステムは、幅広い高度なパターニングアプリケーションをサポートするように設計されています。KLA Puma 9100の高度なパターニング機能には、フルチップ自動光学検査（AOI）、自動化プロセス制御（APC）、レジスト検出、欠陥検出、定量化された欠陥解析が含まれます。また、強力なプロセス最適化機能を提供し、ユーザーは特定の要件に応じてプロセスパラメータを調整することができます。TENCOR Puma 9100は、可能な限り最も詳細な画像をキャプチャするための高度な光学技術とイメージング技術を備えています。その高速かつ精密な光学系は、表面とサブサーフェスの両方の特徴を迅速に検出することができます。TENCOR独自の直交搬送ユニット（OTS）は、サンプルを回転させることなく、片側からパターン化されたウェーハを迅速に検査および測定することができます。Puma 9100には4つのカメラモジュールが装備されており、解像度を変化させることができます。ResolveMax™イメージングソフトウェアは、ウェーハの構造を包括的に把握し、欠陥の測定、検出、定量化を可能にします。KLA/TENCOR Puma 9100は、KLA/TENCOR計測ツールにより高度な計測機能も提供します。ユーザーはリモートからマシンのグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）にアクセスして、線幅の測定、レイアウトのレビュー、公差の設定を行うことができます。これらのツールを使用すると、欠陥を迅速に発見し、必要な是正措置を講じることができます。KLAは、信頼性と信頼性の高いウェーハテストと計測ソリューションであるKLA Puma 9100を開発しました。このツールは、最高レベルの精度と再現性を提供しながら、堅牢で耐久性に優れているように設計されています。アセットの高度な機能とツールは、プロセスを最適化する必要があるプロセスエンジニアにとって理想的な選択肢です。