中古 KLA / TENCOR Puma 9100-IS #9016500 を販売中

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ID: 9016500
Patterned wafer inspection system, 2006 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9100-ISは、テストと測定の両方で最高レベルの精度と精度をユーザーに提供するように特別に設計された自動ウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、高い再現性と信頼性を必要とする生産および研究開発アプリケーションに最適です。KLA Puma 9100-ISは使いやすく、高度に自動化されています。このユニットは、ロードポートとロボットを使用してウェーハを16upテストセルと光検査カメラに転送し、より迅速で再現性のある試験プロセスを保証します。試験と検査ヘッドを5ミクロンの精度で移動させる多軸ステージを備えており、さまざまな測定が可能です。TENCOR Puma 9100-ISは、高性能イメージセンサーとインテリジェンスを搭載しており、セルやラインのPV検査アプリケーション向けの多結晶シリコンウェーハ測定などの光学測定を行います。このツールは、ナノメートルレベルの精度で物体の厚さを測定することができ、また微細構造を正確に登録して識別することができるアルゴリズムです。Puma 9100-ISは、自動テスト実行(ATE)などの多くの機能を提供して、手動での介入の必要性を減らし、生産性を最大化するためにテストプロセスを自動化します。また、欠陥の洗浄や欠陥の自動分類も可能で、さらなる歩留まりの向上と試験時間の短縮が可能です。KLA/TENCOR Puma 9100-ISは、業界標準のソフトウェアアプリケーションおよびオペレーティングシステムと互換性があり、お客様にテストおよび測定操作をカスタマイズする機能を提供します。また、データ収集と分析機能を提供するように設計された高度なハードウェアとソフトウェアを備えています。標準のPCや高度なソフトウェアアプリケーションを活用して、欠陥プロファイルやウェハーマップなどの包括的なレポートとデータを幅広く生成します。全体として、KLA Puma 9100-ISは、今日の生産および研究開発環境の厳しい要求を満たすように設計された、信頼性の高い先進的なウェーハ試験および計測機器です。さまざまな包括的な機能と機能を提供し、信頼性の高い正確なウェーハテストと計測ソリューションを求めるお客様に最適です。
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