中古 KLA / TENCOR Puma 9000D #9406885 を販売中
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ID: 9406885
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
Darkfield inspection system, 12"
EFEM: Dual FIMS (EFEM) with Phoenix handler
GEM, SECS and HSMS
4-Color signal light tower: R,Y,G,B
VANGUARD UV Laser head, 1W
Laser wavelength: 365nm
Selectable Scan Line (SL): SL10/15/20/40/60
(2) ISOPORT Loadports
FEC
Interlock controller
ACDC Power
YASKAWA Controller
Stage:
X, Y and Theta stage installed stage locking jig
PS2 / X,Y1,Y2,ADSC Amp
SMAC and X-Flex board
2-FVPA (Rear FVPA missing)
PS1 and Z Amp missing
Optic
AF Camera
Line scan camera
CIB 1,2,3 Board
XTC Board
AF Unit
AFSB
Focus missing
CH2 Line scan camera missing
Laser power supply
Laser head
Galil board (3-Channels)
User interface:
IMC System (Mercury and host PC)
SCC (HDD Missing)
Monitor
Keyboard
Joystick
Blower box
Line conditioner
UI and IS Connected cable
Exhaust hose
2005 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9000Dは、高性能光学および自動検査を提供するウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、高度な3Dデバイス特性評価のための高精度で高精度な測定を提供するように特別に設計されています。ミクロンレベルの分解能と優れた信号をノイズ比で提供するため、半導体業界での検査に対する信頼性が高まります。このユニットの中核には、高度な光学計測機能があります。デュアル波長分光計は、幅広い光源を使用して、ウェーハ表面の複数の点で厚さ、光学特性、平坦度などのデバイスパラメータを測定します。この分光計は、ラインスキャンと複数の回折計を使用して、極端な解像度と精度で特徴を検出します。さらに、分光計には自動ルートプランが装備されているため、あらゆるウェハの表面プロファイルを迅速かつ正確に作成できます。KLA Puma 9000Dは、高度な自動検査も備えています。高解像度3Dイメージングマシンは、屈折および反射ツールを使用してウェーハ表面の微細な特徴を検出します。3Dイメージングツールは、線幅、アスペクト比、穴深度、熱応力など、さまざまなデバイスパラメータを測定するために使用されます。さらに、この資産には、肉眼では見えない小さな表面欠陥を検出して報告できる自動欠陥レビューアナライザが装備されています。これらの機能に加えて、TENCOR PUMA 9000 Dには、ユーザー効率を向上させるように設計された高度なソフトウェア機能も含まれています。このモデルには、さまざまな形式のデバイスデータを表示できる洗練された欠陥フィーチャーマッピングプログラムが含まれています。ソフトウェアはまた、正確かつ再現可能な測定を可能にする欠陥アルゴリズムの大規模なライブラリにアクセスすることができます。これにより、検査時間を短縮し、精度を向上させることができます。Puma 9000Dは、高性能な検査サービスを提供するために設計された非常に高度な機器です。高度な光学および自動検査機能により、ミクロンレベルで信頼性の高い正確な測定が可能です。さらに、ソフトウェア機能は強力でユーザーフレンドリーであり、データを分析して解釈することが容易になります。高度な機能を備えたPUMA 9000 Dは、半導体業界の幅広い用途に最適です。
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