中古 KLA / TENCOR Puma 9000D #9261863 を販売中

KLA / TENCOR Puma 9000D
ID: 9261863
ウェーハサイズ: 8"-12"
Darkfield inspection system, 8"-12".
KLA/TENCOR Puma 9000Dは、高性能ウエハテストおよび計測機器で、ハイエンド計測部品と検査部品を組み合わせて構成されています。半導体製造に使用されるICのリアルタイム寸法、材料、欠陥特性を提供します。KLA Puma 9000Dには、デジタルCCDカメラと様々なレンズで構成される強力なマルチチャンネルビジョンシステムが装備されています。これらは、伝送または反射のいずれかでICの画像をキャプチャするだけでなく、高解像度の構造化された光イメージングにも使用されます。また、高分解能レーザー散乱計を搭載しており、微細な欠陥や材料のばらつきを高精度かつ再現性で測定することができます。TENCOR PUMA 9000 Dは、特徴認識、2D画像解析、3D計測、欠陥分類のための高度なアルゴリズムも備えています。これにより、ウェーハ上の物理的特性や欠陥を最小限のデータサンプリングで正確に測定することができます。このツールはまた、自動検査をサポートし、迅速かつ正確な品質分析を提供します。Puma 9000Dは、6インチから12インチまでのサイズのウェーハをテストできるフルサービスの資産です。これにより、IC上のシングルダイまたはウェハレベルデータの分析が可能になります。このモデルは、自動ウェーハマップなどのさまざまなツールを使用してマルチノードテストをサポートし、ウェーハデータを迅速かつ信頼性の高いレビューを実現します。KLA/TENCOR PUMA 9000 Dは、DRAM、 Flash、 SRAM、 DRAM/Flow、 Logicなど、さまざまな半導体アプリケーションで使用できるように設計されています。StatisticsWorkBench、 SPC-Metrix、 Metrix-Plus、 ATEインターフェイスなどの最先端のソフトウェアとハードウェアと互換性があります。このため、大小の製造環境に最適です。KLA PUMA 9000 Dには、トレーサビリティ、データアーカイブ、統計プロセス制御(SPC)などの機能も含まれています。これらの機能は、オペレータに品質指標へのアクセスを提供し、自信を持った意思決定を可能にし、オペレーションと品質データの安全な監査証跡を提供します。システムはまた、複数の検査オプションをサポートし、特定の要件を満たすようにカスタマイズすることができます。TENCOR Puma 9000Dは、正確な欠陥検出と信頼性の高いプロセス制御を提供する信頼性の高い高度なウェハテストおよび計測ユニットです。高い精度と再現性を実現し、ICに自信を持って意思決定し、半導体製造プロセスを合理化することができます。
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