中古 KLA / TENCOR Puma 9000D #9184157 を販売中

KLA/TENCOR Puma 9000Dは、最高品質の歩留まりと歩留まりを保証する比類のない精度とスループット機能を提供するウェーハテストおよび計測機器です。このシステムは、高度なウェーハ検査と自動計測を組み合わせて、ウェーハに存在する欠陥を特定して測定します。KLA Puma 9000Dは、今日の高密度ウェーハの非常に小さな欠陥を特定し、測定するために卓越した精度と速度を提供します。TENCOR PUMA 9000 Dの自動メトロロジーユニットは、1µmから5µmまでの広範囲のウェーハ領域にわたって機能を正確かつ迅速に測定2µm/secondます。また、CD、リニアピッチ、ライン幅、ステップ、突起高さなど、ウェーハ表面の幅広い機能を測定します。イメージングに関しては、PUMA 9000 Dは高精細イメージング機能と広い視野を備えており、各欠陥の状態を把握し、測定精度を検証するのに役立ちます。オプションのマルチビジョンモード機能を備えており、広い視野のために毎秒480枚の画像を提供します。高度な画像処理アルゴリズムは、傷、粒子、転位などのウェーハ欠陥をこれまでにない詳細に正確に検出および測定します。機械の高精度の線形段階はまた精密の参照レベルを提供します。その高精度ドライブ技術は、ミクロンレベルの精度を提供し、非常に正確な測定を可能にします。KLA PUMA 9000 Dは、Air Scanning Moduleを搭載し、今日最も小型のデバイスに幅広い検査機能を提供します。さらに、オープンアーキテクチャとモジュール設計により、ツールへの簡単で費用対効果の高いカスタマイズとアップグレードが可能です。内蔵のオートフォーカス機能と自動ウェハローディングとトラッキングにより、オペレータのスキル要件を最小限に抑え、資産を迅速に生産ラインに統合できます。最高品質の結果を保証するために、Puma 9000Dは包括的で直感的なオペレータ制御とレポート機能を提供します。これには、各欠陥とウェハパターン内の位置のレポートを作成する自動欠陥レポートモデルが含まれます。また、統合された簡素化されたプロセス制御のためのGlobal Defect Controlオプションも提供しています。TENCOR Puma 9000Dは、今日の生産要件を満たすために不可欠な、これまでにない精度とスピードを提供します。KLA/TENCOR PUMA 9000 Dは、最先端のウェーハ試験および計測技術により、高収量、高品質のウェーハを保証する効率的なソリューションを提供します。