中古 KLA / TENCOR Puma 9000 #9378722 を販売中

KLA/TENCOR Puma 9000ウェーハテスト&メトロロジー装置は、半導体デバイスメーカー向けに高精度、高スループットウェーハ試験および計測結果を提供するために設計された次世代ウェーハテストおよび計測システムです。KLA Puma 9000は、高度なスキャンおよび測定機能により、従来のPumaシリーズと比較してパフォーマンス、精度、スループットが大幅に向上します。TENCOR Puma 9000の主要コンポーネントには、最先端のCCDビジョンユニット、フルスコープエリアアレイのフォトレジストメトロジーマシン、および完全自動化された仕様スキャンおよび計測解析ツールが含まれます。CCDビジョンツールは、ウェーハの上面と底面の全視野検査を可能にし、エリアアレイのフォトレジスト計測アセットは、ウェーハ上の膜厚と表面プロファイルの高精度な特性評価を可能にします。自動化された仕様スキャンおよび計測解析ツールセットにより、高効率なデータ収集、自動特徴評価、データ処理、誤り訂正、統計分析、および詳細なレポート作成が可能になります。Puma 9000には、ユーザーが特定のウェーハプロセス要件に合わせてモデルをカスタマイズできる高度なユーザー設定可能なソフトウェアパッケージも含まれています。これには、高度な機能検出と特性評価、包括的なエラー訂正機能、自動スキャンと計測、組み込みモデルベースの欠陥検出と修復、および統計データ分析とレポートが含まれます。KLA/TENCOR Puma 9000は、ほこりや腐食から保護するように設計された完全に自動化された産業用グレードのエンクロージャで、過酷な環境で動作するように設計されています。さらに、KLA Puma 9000は、プログラマブル光学フィルタ、誤った電源電圧に対する保護、サージ保護などの高度な電気および光学保護機能を使用して、最も攻撃的な環境でも高性能と精度を確保します。全体として、TENCOR Puma 9000は非常に高度なウェーハテストおよび計測機器です。Puma 9000は、高度なCCDビジョンシステム、エリアアレイのフォトレジスト計測ユニット、自動解析ツール、カスタマイズされたソフトウェアパッケージを備え、最高レベルの精度、速度、再現性を提供するように設計されており、半導体デバイス製造に使用されるウェーハの迅速かつ正確なテストと特性評価を可能にします。