中古 KLA / TENCOR Puma 9000 #9232234 を販売中

KLA/TENCOR Puma 9000は、半導体デバイス構造、均一性、および地形などのウェーハパラメータを迅速かつ正確に、かつ確実に測定できるように設計されたウェーハテストおよび計測プラットフォームです。この装置は、高度な走査型電子顕微鏡（SEM）イメージング、自動光学検査（AOI）、レーザー干渉測定（LI）ツールを使用して、ウェーハ上の個々のデバイスの性能を詳細に示す包括的なデータセットを生成します。複数の機能を同時に測定するのに最適で、精度や信頼性を損なうことなく、ウェーハ分析に要する時間を短縮する可能性があります。KLA Puma 9000は、さまざまな条件に適応するように設計されており、高温または低温の環境、または粉塵や破片が存在する環境に最適です。直径8インチまでのウェーハ解析が可能で、高精細画像や特徴解析に最適なダイナミックレンジを備えています。このプラットフォームは、さまざまなセンサーと統合された電子機器を組み合わせて、喉の深さ、ピッチ、線の幅、線の角度、欠陥タイプなどの構造特性を検出します。このシステムは、高度なアルゴリズムを使用して機能を正確に分類し、完全欠陥領域、欠陥密度、平均幅、ピッチなどの多くのパラメータを含むデータを抽出して、高速で信頼性の高い統合データソリューションを提供します。さらに、ユニットには優れたオートメーション機能が装備されています。埋め込みパーティクル検査機とフラットパネル検出器を使用してウェーハを完全に自動化し、特定の構造を個別に検査するか、大規模な分析ニーズのために大規模なデータキャプチャと分析ポイントを調整するように構成することができます。TENCOR Puma 9000は、サンプル位置決めのためのソフトウェア制御の機械的ステージを備えており、優れた精度のための高精度アライメントのオプションを提供しています。最後に、信頼性の高いデータ収集を確実にするための自動シールドが含まれており、既存のプラットフォームに統合するためのイオンビームソースまたは光ファイバ接続を内蔵することができます。Puma 9000は、ウェーハテストと計測タスクに最適なソリューションです。このプラットフォームは、スキャン電子顕微鏡、自動光学検査、レーザー干渉測定技術を1つのパッケージに組み合わせることで、これまでにないデータ精度、信頼性、速度を提供します。自動化機能とソフトウェア制御された機械ステージにより、オペレータの介入なしに複数の機能を正確かつ再現可能に測定できます。このツールは、過酷な環境条件に耐えるように設計されており、最大直径8インチのウェーハをスキャンすることができます。要約すると、KLA/TENCOR Puma 9000はウェーハテストおよび計測ソリューションのリーディングカンパニーです。