中古 KLA / TENCOR Puma 9000 #81748 を販売中
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販売された
ID: 81748
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
Darkfield Defect Inspection Tool, 12"
Main Computer: DELL Power Edge 2600, 2x Intel Xeon CPU 2,8 GHz, 2GB RAM, Bus Speed 533
MHz, L2 cache: 512 kB
Image PC: Mercury, SN: Z2111
(Qty 2) 12" loadports Asyst 300FL, S3 STD, KT07
Wafer ID reader "Cognex 1701"
Main Power Input: 208V, 3ph,
12" robot with one endeffector (fork)
Subequipment: Blower (KLA-Tencor)
Disk-Management: Array: PERC 4/Di
Disk 0: 546 GB
C: 20 GB, D: 50 GB, E: 426 GB, Z: 50 GB
Main Computer: Windows 2000 Server Family, 5.00.2195, SP4, BIOS Rev. A10
Application: Ver 9.1.703_2, 14. Q4 2007
Last Software upgrade from 9.1.424 to 9.1.703 on 15. Q1 2008
Cougar 9.1.703, 14.Nov 2007
Wafer Inspector V.9.1.703_2
CE Marked
2004 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9000は、高度なウェーハ試験および計測機器です。高速光学、X線、ウェハブロードキャスト、欠陥レビュー機能をユニークな生産実績のあるプラットフォームに組み合わせることができます。KLA Puma 9000は、重要な寸法構造の迅速で非接触検査からプロセスに敏感なパターンの欠陥レビューまで、あらゆる計測アプリケーションで最高のパフォーマンスと価値を提供します。TENCOR Puma 9000は、ウェーハメーカーに最高の解像度の画像、迅速なスループット、パフォーマンスを提供し、微妙な欠陥を迅速に検出するように設計されています。Puma 9000は、最も困難な高度なノード設計ルールを検査するために必要な高度なツールをユーザーに提供します。このシステムの5-QX X線検出器は、最高8台のレーザーを使用して高精度のCD測定を行い、業界で最も高速なフルウェーハ放送速度を実現しています。また、比類のないX線およびCDS測定用のデュアル波長構成も備えています。KLA/TENCOR Puma 9000は、ピクセルサイズが3ミクロンと小さい業界最高解像度のデジタルイメージングユニットです。この機械の高度な画像処理アルゴリズムにより、非常に小さな機能を最高精度で検出および分析することができます。自動化された欠陥レビュー機能により、手動での表示が不要になり、欠陥をすばやく識別するプロセスが簡素化されます。KLA Puma 9000は、高性能なラインマッチングアルゴリズムと高度なラインポジショニング/トラッキング機能により、最高の計測精度を保証します。TENCOR Puma 9000は、最新の自動化と接続性も提供しており、ユーザーは自動スクリプトとデータ収集ツールを使用してツールを制御できます。オプションのバーコードラベルリーダーと自動ウェハハンドリングシステムが含まれており、パフォーマンスと柔軟性をさらに向上させます。さらに、Puma 9000のイーサネット/IPおよびUSBポートは、外部システムとのインタフェースを容易にします。KLA/TENCOR Puma 9000は、業界の多様なニーズに対応する幅広い機能を提供します。その柔軟な設計と高度な機能により、計測および試験アプリケーションで利用可能な最高のパフォーマンスと最高の価値をお客様に提供します。
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