中古 KLA / TENCOR Puma 9000 #293607038 を販売中
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KLA/TENCOR Puma 9000は、KLAによって開発された自動ウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、高度なレベル測定および分析技術の実装を通じて、半導体エンジニアリングソリューションの包括的な範囲を提供するように設計されています。このユニットは、最高のウェーハ歩留まりと最適な製造条件を確保するために、リアルタイムの分析と検査、およびプロセス制御を提供することができます。ウェーハ検査や計測用の高解像度イメージングと、欠陥検出用の高度なパターン認識ソフトウェアを備えています。これにより、ダイストリップの初期アライメントから最終製品の光学性能評価まで、プロセスを完全に制御できます。また、歩留まり改善目的で使用するデータを効率的に生成する手段も提供します。KLA Puma 9000は、クラス最高の速度と精度を組み合わせ、最適な動作時間とスループットを提供します。このツールは、1ミクロンまでの解像度で、1時間あたり最大25ウェーハを検査することができます。ハイスループットの非接触ステージを備えており、単一のスキャンでウェーハ全体の複数の場所を自動的に測定および分析できます。アセットのイメージング機能は、0。3ミクロンのウェーハ特性をキャプチャすることができます。TENCOR Puma 9000はホストプロセス制御システムと統合されており、モジュール、ツール、モデルレベルでのデータ収集と分析が可能です。これにより、即座にプロセスの最適化が可能になり、サプライヤはスループットを向上させ、変更を処理するために迅速に反応することができます。さらに、機器はさまざまなレシピと互換性があり、目的に合った欠陥検出とプロセス制御アルゴリズムの転送を確実にします。全体として、Puma 9000は高性能で統合されたウェーハテストと計測ソリューションです。レシピベースのプロセス制御と組み合わせて、ウェーハの自動検査と計測が可能です。このシステムは、プロセスと歩留まりの制御を改善し、高速で信頼性の高い計測と欠陥の同定を可能にし、結果のより高い精度と再現性をもたらします。
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