中古 KLA / TENCOR Puma 9000 #293606939 を販売中

KLA/TENCOR Puma 9000は、ウェハテストと計測のための高精度で自動化された装置です。大量生産向けに設計されており、高度な光学および検査アルゴリズムを使用して、サブサーフェス計測および欠陥検査を行うことができます。システムの主な構成要素はレーザーベースの光学センサであり、微細構造やナノ構造などのウェハの特徴を微細に解析することができます。このユニットは、高分解能レベルを達成することができ、数ナノメートル以内に正確な測定値を生成します。専用のビーム位置決め機を使用することで、立体的な特徴をマッピングして分析することもできます。このアセットには、ウェーハ特性の高度な分析を可能にするツールとソフトウェアのスイートが装備されています。パターン認識アルゴリズムのセットを使用して、単一のウエハ内の欠陥を識別することができます。このモデルは拡張も可能で、ユーザーはテストと測定をさらにカスタマイズすることができます。KLA Puma 9000は、欠陥検査機能に加えて、表面トポロジーなどのプロセス制御および歩留まり管理のための特性を精密に測定することもできます。これには、ウェーハ抵抗率と均一性の測定が含まれます。TENCOR Puma 9000は完全に自動化されており、高いスループットとサイクルタイムを実現できます。包括的なデータ記録保持、既存システムとの統合、テスト結果の完全なトレーサビリティ、プロセスレシピ、ハードウェア構成が含まれます。また、この機器は信頼性が高く、故障のない性能記録で現場テストされています。全体として、Puma 9000は自動化されたウェーハテストと計測のための高度な計測システムです。高解像度と高精度、および高度な精密検査と測定を可能にするさまざまな機能と最適化を提供します。自動化とトレーサビリティ機能により、本番環境に最適なソリューションを提供します。