中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1250SE #9195758 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1250SEは、最高の生産性と精度を提供するように設計された高性能、半導体計測および検査ツールです。この装置は、シリコン、ヒ素ガリウム、ガラスなどのさまざまな材料で、臨界寸法、オーバーレイ、エッジプロファイル、パターン形態を同時に測定することができます。このシステムは、製造中のウェーハの非破壊、24時間年中無休のテストを可能にする独自のin-situ光学プラットフォームを採用しています。KLA UV-1250SEは、UVレーザー光源、透過および反射光学、ダイナミックフォーカス制御、高度なエッジ検出アルゴリズムを組み込んだ完全自動化ユニットで、ウェーハからの高精度データポイントを取得および分析します。光学機械は比較的大きな被写界深度と高速応答時間でウェーハを測定することができます。このツールは、柔軟なノズルの向きとスキャンモードを備えているため、広い試験領域の高スループット測定が可能です。さらに、このツールは迅速に再構成することができ、さまざまなアプリケーションで最も困難なテスト条件の要件を満たすことができます。このアセットは高解像度を提供し、ステップハイト、欠陥サイズ、スクラッチ深度などの表面フィーチャーの微妙な違いを検出することができます。このツールには、パターン化されたデバイスとパターン化されていないデバイスの両方に関連するさまざまな潜在的な線幅、ピッチ、および臨界寸法（CD）の欠陥を検出する高度な検査アルゴリズムも装備されています。さらに、自動化されたエッジ検出アルゴリズムにより、モデルは正確なオーバーレイ測定のためのデバイス機能を正確に見つけることができます。環境制御とClass-1000 HEPAフィルタを統合し、クリーンな作業環境を維持しています。高度なオートフォーカスキャリブレーションにより、さまざまな厚さのウェーハ間で一貫したパフォーマンスを維持できます。ユーザーインターフェイスは直感的で、スキャンされたウェーハのテストデータと画像の両方を読みやすい表示にします。さらに、洗練されたソフトウェアパッケージには、テスト結果が事前に設定された基準を満たしていない場合の自動アラートが含まれています。ユーザーは、安全なWebベースのインターフェイスを使用して、システムデータにリモートでアクセスして確認できます。TENCOR UV 1250 SEのもう一つの利点は、その設定性です。ユーザーは、特定のニーズを満たすためにユニットをカスタム構成することができます。ターボ分子ポンプやシャッターなどの周辺機器を追加することで、精度と試験速度を向上させることができ、機械の結果を制御することができます。全体として、TENCOR UV-1250SEは優れたウェーハテストおよび計測ツールであり、ユーザーに比類のない速度、精度、柔軟性を提供します。アセットの高度な機能により、さまざまなアプリケーションに最適なソリューションです。