中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1250 #9312897 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1250ウェーハ試験および計測機器は、単一のウェーハ上の集積回路を検査するための強力なツールです。各ウェーハ上で最大1250箇所までサンプリングすることが可能で、幅広いパラメータに対応した高精度な解析が可能です。このシステムの重要な構成要素は、レーザー誘導蛍光カップリング（LFF）と自動蛍光カップリング（AFM）技術の両方を使用する超紫外光源です。具体的には、UVスペクトルの光子を使用して、ウェーハ表面の特徴と特徴を励起して調べます。LFFを通して、機械は表面の薄い絶縁層の厚さを定めることができます。この情報は、潜在的な欠陥の有無、いわゆる「欠陥のない」領域を特定するために使用されます。このツールはまた、優れたユーザー調整可能な対流圏光学オプションを提供します。これらの設定は、表面反射の低減、オンウェーハイメージコントラストの最適化、ウェーハ上の機能の定量化に役立ちます。一方、自動化された光学セットアップにより、照明角度と作動距離を迅速に最適化することができ、ウェーハの表面全体にわたって最適な性能を発揮するためには、光学要素への最小限の調整しか必要とされません。このアセットは、光学部品に加えて、自動ステージ、電動ウェハチャック、モーションコントローラも使用しています。このハードウェアの組み合わせにより、ウェハ全体が静止したまま、顕微鏡がスキャンしている間もウェハ全体が測定に最適な位置に配置されます。さらに、ウェハチャックは、スキャン処理中に振動やずれが発生しないように特別に設計されています。最後に、このモデルには、さまざまな画像解析が可能な分光イメージングソフトウェアが含まれています。これには、2Dイメージステッチ、サブピクセル登録、およびイメージベースの欠陥分類が含まれます。このような解析により、ミクロンレベルまでの精度解析が可能となり、ウェーハ性能の高精度分析が可能となります。結論として、KLA UV 1250ウェーハテストおよび計測機器は、ウェーハテストに不可欠なツールであり、比類のない精度と解像度を提供します。レーザー、光学素子、自動ステージ、専用ソフトウェアを組み合わせることで、単一のウエハ上の集積回路を高度に詳細に解析することができます。