中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080 #9275986 を販売中

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KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080
販売された
ID: 9275986
Film thickness measurement system SMIF.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1080は、高度な光学技術、イメージング技術、ソフトウェアを使用してウェーハの表面形状の正確なモデルを提供するウェーハ試験および計測機器です。ウェーハの表面形態を高精度に3D地図化することで、欠陥や粒子の有無、膜層の厚さや均一性など、さまざまな属性を測定することができます。KLA UV 1080は、選択可能なコンデンサ絞り、調整可能な顕微鏡の目的、および高解像度カメラを組み合わせた特殊な顕微鏡レンズを使用して、ウェーハ表面の複数のポイントを同時にキャプチャします。このシステムの出力は、ユニークなリアルタイム画像であり、デジタルマップに変換されます。このデータは、アルゴリズムを使用してデータを分析し、ウェーハの状態に関する包括的なレポートを生成する専用ソフトウェアに供給されます。TENCOR UV-1080は、光学イメージングに加えて、スキャン電子顕微鏡(SEM)、 X線回折(XRD)などの様々な特殊な計測技術を使用し、フィルム層の厚さや存在する欠陥や汚染物質を測定するように設計されています。また、測定範囲が広いため、1ナノメートル程度の粒子を検出し、3次元溶液で最大4ミクロンを測定することができます。ウェーハの表面構造と状態の包括的な概要を提供するために、UV-1080はさまざまなウェーハの精度、再現性、柔軟性を最適化するように設計されています。このマシンには、ユーザーフレンドリーなソフトウェアと制御オプションの包括的なスイートが含まれており、ユーザーは測定パラメータを調整およびカスタマイズできます。データ収集プロセスの一環として、このツールは以前のテスト結果を自動的に保存し、過去と新しい測定の両方を比較およびレビューすることができます。PROMETRIX UV 1080は、工業材料の特性評価と欠陥検出に優れたレベルのディテール、精度、信頼性を提供するように設計されています。このアセットは、高度な光学技術、包括的なソフトウェア、および専門的な計測技術を組み合わせることにより、基板表面の効率的で信頼性の高い評価のための貴重なツールです。
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