中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080 #9269382 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1080は、高性能で高精度なアプリケーション向けに設計された次世代ウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、最大1080枚の画像を同時にキャプチャすることができ、欠陥の迅速な検査とウェーハ上の特徴の正確な測定が可能です。このユニットは極端な紫外線（EUV）源を備えており、深いサブミクロンの特徴サイズでのイメージング時に優れた解像度を提供します。10 xズーム光学と5軸テーブルは、さまざまなフィールドサイズと解像度を提供し、高速かつ正確なデータ取得を可能にします。このマシンは、高度な画像処理アルゴリズムを使用して、欠陥を正確に特定して特徴付けることができます。このツールは、自動欠陥解析が可能で、検出された欠陥の詳細な分析とレポートを提供します。この資産は、根本原因調査をタイムリーに完了できるように、欠陥とプロセス履歴を関連付ける機能を備えています。さらに、基板とICの両方を非常に高精度で評価することができます。また、ウェーハの完全な測定をキャプチャできる高度なデータ取得機能も備えています。これには、CD、オーバーレイ、クリティカル・ディメンション、レチクル、ネットワークの変更などの重要なパラメータを測定する機能が含まれます。また、システムは高度にモジュール化されており、光学性能、画像解析、データ収集の分野で柔軟性とカスタマイズ性を向上させます。KLA UV 1080は、低粒子・欠陥カウント向けに設計されており、ウェーハの汚染がなく、異常を容易に特定できます。工具の自動修復による短いサイクルタイムやダウンタイムの最小化などの追加機能により、処理時間とコストを削減できます。また、遠隔診断やユーザーフレンドリーなインターフェースを提供するため、メンテナンスの負担も軽減されます。要するに、TENCOR UV-1080は、優れた性能を提供するように設計された高度なウェーハ試験および計測機です。柔軟な設計とさまざまな機能により、ウェーハの検査および測定アプリケーションに完全なソリューションを提供します。合理化された設計により、ダウンタイムと処理コストを削減すると同時に、優れた精度と再現性を保証します。