中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080 #9268146 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1080は、紫外線（UV）放射を用いてウェーハや半導体チップを様々なパラメータで測定するウェーハ試験および計測機器です。UVクワッドセルとUVデュアルセルという2つの高度な光学システムを利用しています。クアッドセルシステムは、トポグラフィ、CD値、傾き、シャープネスなど、サンプルの特性を別々に測定する4つの検出器で構成されています。2つ目のUVデュアルセルユニットは、サンプルの位置シフト（X-Y）を測定する2つの検出器で構成されています。この機械の紫外線は、波長スイッチング時間が速く、正確な測定のための高精度データを備えています。これにより、ユーザーは、ピンホール、ヒロック、傷などのウェーハ表面のさまざまな欠陥を検出することができます。また、臨界寸法（Cd）の変動を特定し、薄膜トポロジー解析を行うのにも最適です。さらに、材料組成、応力、平坦度、オーバーレイ、炭素汚染を分析することができます。KLA UV 1080は、スキャンを容易にするための広い角度範囲を提供し、1時間あたり最大150ウェーハの速度でさまざまな複雑度の複数のターゲットを測定することができます。このツールはまた、手動操作を最小限に抑え、信頼性の高い操作のために定期的なメンテナンスのみを必要とする、組み込みのウエハハンドリング機能を備えています。さらに、特別な測定要件に合わせてアセットをカスタマイズすることができます。たとえば、Autoloaderなどの追加コンポーネントを含めることで、操作の利便性を高めることができます。モデルの可能性を最大限に活用するために、産業オートメーションおよび制御システムと統合することができ、生産および研究アプリケーションの両方に最適なツールです。データ収集機能とデータ分析機能は、KLA Worksite NTソフトウェアを通じて有効になります。この完全に機能するソフトウェアには、直感的でカスタマイズ可能なインターフェイスが含まれており、複数のウェーハの読み込みとスキャン操作をサポートするように設計されています。装置はSMEMA （Surface Mount Equipment Manufacturers Association）プロトコルおよびELPHY+制御プロトコル規格にも準拠しています。全体として、TENCOR UV-1080は効率的で正確かつ堅牢なウェーハ試験および計測システムであり、迅速で信頼性の高い結果を提供し、半導体業界に大きな投資をもたらします。