中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080 #9266773 を販売中

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KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080
販売された
ID: 9266773
ウェーハサイズ: 6"-8"
Film thickness measurement system, 6"-8".
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1080装置は、半導体製造およびウェーハ試験および計測に使用される特殊機器です。インプロセスウエハテストと評価ソリューションを提供し、集積回路(IC)の製造メーカーがより良い結果を出し、生産プロセスを改善するのに役立ちます。具体的には、KLA UV 1080は、ウェーハ表面および関連するダイ領域の高解像度2D画像を収集し、早期または早期IC障害の自動解析を支援します。強力な光学イメージングシステムは、その寸法、ジオメトリ、欠陥マッピングパラメータなど、ウェーハに関する幅広い情報をキャプチャして比較するように設計されています。TENCOR UV-1080のリアルタイムイメージング機能により、ウェーハ表面でのプロセス誘発の動的粒子移動を迅速にオンサイトでテストおよび監視することができ、製造プロセスの早期段階でのプロセス障害の特定に役立ちます。高度な光学ユニットには、正確な厚さ測定のための干渉計と、埋め込まれた欠陥やその他の地下画像を検出する機能が含まれています。このマシンのもう1つの重要な特徴は、イメージングプロセスを制御し、結果を分析するための幅広いプロトコルを組み込んだインプロセスソフトウェアスイートです。さらに、KLA/TENCOR/PROMETRIX UV-1080は、アライメントとイメージングオートメーションルーチン、リアルタイムの価格性能ツール、統計プロセス制御(SPC)機能、ウェハマップ比較オプションなどのオプションでカスタマイズできます。このツールの豊富な機能と機能は、堅牢な構造と長時間の動作時間と組み合わせることで、精度、速度、信頼性を最適に組み合わせます。KLA/TENORPROMETRIX UV-1080は、集積回路の製造に使用するための比類のないウェーハ試験および計測機能を提供する、不可欠な製造ツールです。
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