中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080 #9231980 を販売中

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ID: 9231980
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1999
Thin film measurement system, 8" 1999 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1080は、高度な紫外線画像技術を使用したウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、紫外線にさらされたウェーハに特殊な計測タスクを実行するように設計されています。このユニットは、完全なウェーハを数分で自動的に検査および分類することができ、正確で一貫した分類を保証します。背後にあるコア技術は、ウエハ表面を測定およびグレードするために紫外線イメージングを利用しています。UVイメージングは、複数のUV波長帯域を利用して、ウェーハ表面の微細なバリエーションを正確にキャプチャします。イメージングツールは、各バンド内のウェーハからデータをキャプチャし、個々の粒子、欠陥、および微細構造を区別することができます。取得した画像をウェーハパターンデータベースと比較して、ウェーハを正確に分類します。このアセットには、ウェーハ表面の欠陥領域を迅速に検出および記録する自動欠陥位置およびマッピングモデルも含まれています。この装置は特殊なアルゴリズムを使用して、フラットラインエッジ、スプラッシング、微粒子汚染、デラミネーションなどの一般的な欠陥タイプを特定します。欠陥マップを使用すると、ウェーハの特性をすばやく理解し、分析しやすくなります。KLA UV 1080には、ウェハスキャンシステムも含まれています。このユニットには、高解像度の顕微鏡レンズと、指定された間隔でウェーハ表面を上下に移動するスキャンステージが含まれています。このマシンは、自動フィーチャーエクストラクターによって処理される大量のデータを収集することができます。フィーチャーエクストラクタを使用すると、ウェーハ表面の欠陥、欠陥、およびその他の特性をすばやく特定できます。このツールには、ユーザーがウェーハ内の微小な特徴や違いを識別して分析することができる高度な機能解析ソフトウェアも装備されています。このフィーチャー分析には、カスタマイズされたフィーチャー抽出、フィーチャー比較分析、フィーチャー強度分析が含まれます。このソフトウェアは、ウェーハ表面の欠陥、粒子、およびその他の特性を正確に識別および分類する機能をユーザーに提供します。TENCOR UV-1080は、紫外線にさらされたウェーハの正確な計測作業に必要な正確なデータをユーザーに提供します。このアセットは、高度な紫外線画像技術、自動欠陥位置とマッピング、および強力なフィーチャー解析を利用して、ウェーハを迅速かつ正確に分類します。このモデルのデータ収集機能と機能解析ソフトウェアにより、ウェーハ表面の詳細な理解を得ることができ、測定操作の精度を確保するために適切な行動をとることができます。
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