中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080 #9217742 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1080は、製造後の半導体デバイスの検査および分析用に設計されたウェハテストおよび計測機器です。高度なイメージング技術と高性能アルゴリズムを活用して、幅広いウエハサイズ、形状、材料にわたって欠陥をナノメートルレベルまでマッピング、測定、分類します。このシステムは、基板表面の正確な3D画像をキャプチャするための高出力100ワットのUVレーザーイメージングヘッドを備えています。スペクトルイメージングを使用することで、SU-8などの光学的に透明な材料内の暗い欠陥と軽い欠陥の両方を検出することができます。1080は、高精度なインチップダイ測定と最大1000X倍の欠陥識別のための高度な電動ステージで設計されています。このマシンは、高解像度の画像をキャプチャするための直感的な画像キャプチャコントロールを提供し、横に並べて比較することができます。1080はまた、標準フォーマットのCADライブラリやデバイスモデルとシームレスに統合し、正確なヒストグラムデータとナノメートル精度の欠陥位置マッピングを保証します。さらに、このツールは、表面粗さ、欠陥面積、深さなど、幅広いパラメータを測定できます。さらに、この資産は、欠陥のレビュー、分析、および解決のための包括的な一連のツールを提供します。KLA 1080モデルは、デバイス製造およびテストのすべての段階における欠陥の迅速かつ正確な定量化のために設計されています。プロセスの再現性を検証し、製造プロセスのばらつきや材料に関連するリスクを低減する欠陥分解能を提供します。TENCOR 1080は、歩留まりおよび歩留まり損失の問題の評価とトラブルシューティング、ならびにSPCプロセスの実装に最適です。迅速かつ正確な欠陥イメージング、検出、定量化、データ分析、レポート、プレゼンテーションのための強力なツールを誇っています。さらに、高速スキャンのための自動ウェーハアライメント、スループット向上のためのオプションのウェーハハンドラ、およびダイツダイの均一性の向上を備えています。