中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080 #9115152 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1080「ウエハテストと計測」装置は、光学層測定、3D表面プロファイルイメージング、統合散乱計、および全反射X線蛍光LF （TXRF）の先進技術を組み合わせた高精度、高速精密工学です。統合された光学層測定プラットフォームは、高度なイメージング技術を使用して、半導体スタックとウェーハの層の厚さ、組成、屈折率、表面テクスチャを正確に測定します。3Dサーフェスプロファイルイメージングと統合散乱測定技術を組み合わせたKLA UV 1080システムは、光学的に測定された半導体スタックの表面粗さ、形状、質感などのパラメータを測定できます。TXRF技術はウェーハとスタック内の要素を測定し、完全な測定結果には元素組成と要素量が含まれます。これにより、希望する仕様との比較が可能になります。TENCOR UV-1080ユニットの利点は、光散乱などの他の方法と比較して、層の厚さと表面のテクスチャの非常に小さな変化を検出して区別できることです。これらの技術をPROMETRIX UV-1080マシンに組み合わせることで、表面解析に関連する速度と精度の組み合わせが実現します。これにより、極めて精密な半導体スタックを開発しながらリアルタイムのフィードバックが可能になります。統合された散乱計ソフトウェアには、AI機能が組み込まれており、測定される情報を最適に読み出すための範囲のスペクトルが生成されます。このツールは、高解像度カメラと自動サンプル処理アセットを備えており、フィールドと遠いフィールドの近くで測定を行うことができます。光層測定と組み合わせて、KLA/TENCOR/PROMETRIX UV-1080モデルは、ウェーハプロセスの開発と特性評価、線幅測定、均一性の特性評価、カット/エッチング深度測定、欠陥検査など、幅広い用途に適しています。KLA UV-1080装置は、半導体スタックおよびウェハアプリケーションの高品質な測定を行うための信頼性の高い強力なツールです。最先端の技術、精度、速度を組み合わせることで、ウェーハやスタック開発時に効率的かつ正確な表面解析が可能になります。