中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #9284331 を販売中

KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050
ID: 9284331
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050は、高精度かつ高精度なウェーハ表面の詳細な解析を可能にするウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、マッピングやその他の分析のための輪郭やプロファイルを検査する機能を備えた、複雑な表面での高精度な測定を実現するために設計されています。このユニットには、強力なClass 1 UV-1000スキャンレーザーソースと独自のClass 1™ Optics Analysisマシンが装備されており、利用可能な最高レベルのパフォーマンスを提供します。これは、高解像度の光学ツールと組み合わされて、ウェーハ表面をスキャンしながら、最も正確な読み取りを保証します。KLA UV 1050は、解像度と精度に優れており、表面上の最小の特徴を検出することができます。高解像度マッピングや3D輪郭測定など、幅広い用途に対応したイメージングおよび計測スキャンが可能です。TENCOR UV-1050のスキャンヘッドには20軸ステージングアセットとユニークな傾きと回転モジュールがあり、最も困難な表面でも検査できます。これにより、ウェーハ表面全体を検査し、大小の領域を正確にターゲットにすることができます。ユーザーインターフェイスは直感的で簡単で、ユーザーはモデルを効率的に操作するために必要なコントロールにすばやく慣れることができます。ユーザーは、独自の高度なプロセスレシピを作成して保存したり、オンボードに保存されたプリロードされたレシピの広範なデータベースを利用したりできます。高いスループットと高精度を実現するため、マルチレベリング、オートフォーカス、プローブなどの高度なオートメーション機能をサポートします。これらの機能を統合することで、データ収集速度を向上させながら、スループットと精度を最大化することができます。結論として、PROMETRIX UV-1050は優れた性能と精度を提供する高度なウェーハテストおよび計測ユニットです。高度なオートメーション機能と直感的なユーザーインターフェイスにより、データ収集時間を短縮しながらスループットと精度を最大化することができます。
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