中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #9233594 を販売中

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ID: 9233594
ウェーハサイズ: 6"
Film thickness measurement system, 6".
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050は、故障解析、歩留まり改善、品質保証、プロセス特性評価に使用される高性能ウェーハ試験および計測機器です。UVおよびブロードバンドIR波長で動作するレーザーおよびイメージングコンポーネントを使用して、製品とベースウェハの両方の高コントラスト画像を提供します。このシステムは、理想的でない測定時でも、スループットと精度を向上させる優れた自動計測機能を提供します。4K、 2K、 1K構成オプションを備えた高度なBCAMアナライザにより、粒子サイズ、地形、薄膜厚などの任意の複雑な特徴を正確に評価できます。これにより、任意の特徴を正確に特徴付けることができ、歩留まり制限欠陥を正確に検出することができます。この装置のイメージングコンポーネントは、さまざまな粒子タイプを検出することも可能であり、プロセスの均一性とより厳格なプロセス制御を可能にします。特許取得済みのローラームビームスキャンにより、困難な環境でのより正確なイメージングも可能になります。さらに、KLA UV 1050は、効率的で簡単なウェーハ検査、データ取得、欠陥管理、レポート生成のための高度なソフトウェアツールを備えています。これらのツールは、収集されたデータが正確で解釈可能であり、最高品質であることを保証するために設計されています。TENCOR UV-1050は、包括的な故障解析ツールに統合され、識別から根本原因までの製品の欠陥を完全に分析し、改善をもたらすことができます。さらに、アセットはKLAおよびTENCORファミリの障害解析システムと完全に互換性があり、システム間でデータを共有できます。結論として、KLA UV-1050は最先端のウェーハテストと計測モデルです。その特殊なイメージングコンポーネントと高度なソフトウェアツールにより、装置は優れた計測機能を提供し、理想的ではない設定でのスループットと精度の向上を可能にします。さらに、システムは包括的な故障解析ユニットに完全に統合され、歩留まりの改善とプロセス特性評価が可能です。
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