中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #9185804 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050は、半導体の品質保証とプロセス最適化を自動化するウェハテストおよび計測機器です。高精度画像技術と、正確な測定のための同時容量プローブの2つの技術を組み合わせた、構成可能なマルチアプリケーション検査システムです。半導体ウェーハのサブミクロンサイズの特徴を素早く正確に検査・測定することができます。KLA UV 1050は、独自のファイナルイメージマシン（FIS）を使用して、ラフまたはファインイメージング機能を提供します。FISは紫外線（UV）光を利用しており、シリコンウェーハ上で金属および非金属構造を光学的に検出することができます。紫外線は可視光より波長が短いため、従来の検査技術よりもはるかに小さい特徴を検出することができます。さらに、このツールは、露出フィールド補償でウェーハの両側を検査し、両方の視点から一貫した画像を確保することができるマルチカメラアーキテクチャを備えています。さらに、キャパシティブプローブはTENCOR UV-1050に統合され、ワイヤの厚さを正確に測定します。容量性測定システムを利用することで、品質測定を迅速かつコスト効率よく行うことができます。さらに、プローブはウェハレベルのレシピ最適化を可能にし、プロセスを効率的に最適化します。PROMETRIX UV-1050は、ウェーハ形状を高精度に測定、監視、制御することができます。使いやすく堅牢な組み込み制御資産を備えているため、品質プロセス制御システムでの使用に最適です。また、拡張された自動監視機能を備えているため、初期プロセスの問題を検出し、仕様外の結果を特定し、ユーザーにリアルタイムで潜在的な問題を発生させるよう警告することができます。最後に、TENCOR UV 1050は、ユーザーが迅速かつ簡単にカスタム検査レシピを作成することができ、強力で直感的なソフトウェアプログラムを備えています。また、使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスと包括的なレポートモデルを備えており、さまざまな形式の検査結果を表示および分析することができます。全体として、KLA/TENCOR/PROMETRIX UV-1050は、正確な測定と高精度イメージングを迅速に提供する高度なウェハテストおよび計測機器です。光学イメージングと静電容量プローブの組み合わせにより、品質プロセス制御と継続的な改善に最適です。