中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #9182564 を販売中

ID: 9182564
ウェーハサイズ: 4"-8"
ヴィンテージ: 1997
Film thickness measurement system, 4"-8" Handling robot: H2 Stage resolution: XY-0.25μm, Z-0.025μm Source: Broadband xenon lamp (250nm to 750nm) Imaging system: Color camera with pattern rec (COGNEX System) PC: Intel P3 450MHz OS: Summit 2.4 based on Windows NT4.0 SECS II Interface 1997 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050は、ウェハテストおよび計測機器です。薄型ウェーハと超薄型ウェーハの両方の信頼性と再現性の高い測定を提供するように設計されています。抵抗、厚さ、地形、組成など様々なパラメータを測定することができます。このシステムは、走査型電子顕微鏡(SEM)技術とさまざまな検出器を使用して、薄いサンプルおよび超薄いサンプルの測定および電気特性を正確に測定します。さまざまなサブサンプリングツールを使用して、抵抗、地形、電力など、さまざまなパラメータを測定できます。このユニットには、テスト時間を短縮するための可変高速XYスキャンと、可変ステップサイズの可変角度プラットフォームが装備されています。角度プラットフォームは、さまざまな角度を選択して、より詳細な地形図を作成することができます。このマシンには、可変倍率の2つのカメラがあり、ユーザーはさまざまな領域の詳細をズームインすることができます。KLA UV 1050には顕微鏡も搭載されており、サンプルの詳細な画像をユーザーに提供するように設計されています。さらに、このツールは分光機能も備えており、さまざまな測定を行うことができます。厚さ500nmまでの薄型・超薄型ウェーハの測定が可能です。また、温度測定に使用できる熱電対を内蔵しています。熱電対からの出力は振幅または周波数信号に変換され、測定を行うために使用されます。TENCOR UV-1050は、さまざまな測定機能を備え、再現性と信頼性の高い測定を望む研究者や研究室に最適なツールです。さらに、装置は高いレベルの柔軟性を提供し、ユーザーは仕事に最適なツールを選択することができます。そのため、薄型・超薄型ウェハの精密測定が必要な方には欠かせないツールです。
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