中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #9172589 を販売中
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ID: 9172589
ウェーハサイズ: 4"-8"
ヴィンテージ: 1999
Film thickness measurement system, 4"-8"
Computer: 450 MHz / 850 MHz
1999 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050は、サブミクロンからナノメートルまでの範囲で設計されたウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、ウェーハ上の欠陥識別用の高解像度イメージングユニットを備えています。高速スキャン速度とマルチスレッドスキャンアーキテクチャにより、厳しい生産環境での欠陥の正確な特定に最適です。紫外線(UV)光源を利用して、1050はまた、欠陥を示すかもしれない複雑なパターンを識別するための正確なパターン認識機能を備えています。KLA UV 1050は、適応可能な部品とコンポーネントを備えたモジュラービルドを備えています。その中心部品は段階、カメラ、照明およびソフトウェア制御機械から成っています。このステージでは、正確で再現性のあるスキャン動作を使用して、正確な画像アライメントを備えた高解像度イメージングを提供します。カメラはサブミクロンイメージングデータをキャプチャし、オンボードソフトウェアパッケージを使用して処理します。この照明ツールを使用すると、950はオン軸照明とオフ軸照明の両方で欠陥を識別できます。高解像度イメージングとパターン認識に加えて、TENCOR UV-1050には他にもいくつかの機能があります。これには、プロセスおよび計測に関連する欠陥を検出するためのウェーハ間ウェーハとダイダイ間の比較機能が含まれています。また、ウェーハ厚さ測定、ウェーハエッジ検出、パターンオーバーレイチェックを実行して、さまざまな基板の均一性を確保することもできます。UV-1050は、PCやラップトップなどの外部ツール、またはオンボードコントロールアセットで制御できます。その汎用性の高い性能は、研究環境と生産環境の両方での使用に最適です。その包括的な仕様リストには、長期的な信頼性、柔軟なスループット、最小限のハードウェア要件が含まれています。従来の検査方法と比較すると、このモデルは時間とお金の両方で大幅なコスト削減を提供します。PROMETRIX UV-1050は、幅広いアプリケーションで信頼性と再現性の高い結果を提供する強力なウェーハテストおよび計測機器です。カスタマイズ性が高く、幅広い基板やサイズに対応できます。システムの柔軟性、効率性、高度なイメージング機能により、難易度の高いウエハ基板の効率的な検査と特性評価に最適なツールです。
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