中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #9031773 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050は、高速で正確で信頼性の高いウェハテストと測定結果を提供するように設計されたウェハテストおよび計測機器です。出力ベースの試験および計測、または「OIM」をサポートするように設計されており、リソグラフィ、蒸着、エッチング、平面化、ポストプロセス計測などのさまざまなプロセス技術に厳格なパフォーマンス最適化と容量保証を提供します。KLA UV 1050には、非破壊的、高解像度の2Dイメージング、3Dプロファイルスキャン、屈折率（RI）測定用の低真空（LV）測定チャンバが含まれています。このシステムには、フォトレジストやその他のウェーハ表面イメージングアプリケーションで使用するための超紫色光源も含まれています。LVチャンバは、パターン化されたウェーハイメージング用に最適化されており、さまざまなCD計測タスクの重要な寸法（CD）を正確に測定できます。このユニットは、過酷な製造環境で確実に動作するように設計されており、温度、圧力、加速プロファイルの変化に対応できます。TENCOR UV-1050には、特許取得済みのキャリブレーション標準（CALIBRATE）およびスロープマッチング（SLO-MATCH）技術も含まれています。これにより、製品の品質と性能のさまざまな側面を迅速かつ正確に評価でき、1回のエクスカーションで複数のCD測定を実行できます。これにより、高スループットのプロセスチャンバーで徹底的かつ継続的な品質評価が可能になります。このマシンには、データ収集と分析を強化する幅広いオプションコンポーネントを装備できます。これらには、さまざまな線形補正モジュール、高度なドリフト補正アルゴリズム、およびコンタクトプローブ、スキャンプローブ、非接触プローブなどのさまざまなプローブ選択オプションが含まれます。さらに、このツールは高度なソースと検出器の接続もサポートしており、最新のマスク、ウェーハ、フィルム、およびレチクルソフトウェアと互換性があります。KLA UV-1050は、SEMI、 ISO、 MIL標準テストスーツなど、最も人気のある業界テスト規格に準拠しています。この資産は、半導体、マイクロエレクトロニクス、航空宇宙産業など、さまざまな産業での使用に適しています。このモデルは、ユーザーにすべての主要なプロセス技術の単一のテストソースを提供し、専用のテストソースとハードウェアの必要性を排除します。そのため、生産プロセスを合理化し、コストを削減するのに役立ちます。