中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #293754232 を販売中

KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050
ID: 293754232
ヴィンテージ: 1997
Thin film measurement system, 6"-8" 1997 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050は、光電子特性と機械特性の両方に関連するさまざまな特性を正確に測定するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、テラペックスイルミネーションに基づいており、マイカや石英材料を含むさまざまな光学系と高速分光法を使用して、ウェーハの厚さ、深さ、表面粗さなどの正確な測定を提供します。このユニットは、薄膜やウェーハ上の小さな特徴を分析して特徴付けするように設計されており、高解像度のイメージングと計測が可能です。KLA UV 1050にはHRIS (High Resolution Imaging Machine)が搭載されており、ウェーハ上のあらゆる機能を高速かつ正確に評価できます。TENCOR UV-1050は、シングルモード、ワイドフィールドモード、マルチスポットモードなど、さまざまなモード構成を提供します。シングルモードはオールインワンソリューションで、ウェーハのグローバル特性とローカルプロパティの両方を測定できます。これは、異なる波長と開口部を持つ複数のレーザーを備えているため、複雑な構造やパターンを分析することができるため、非常に汎用性の高いツールです。ワイドフィールドモードは、より高解像度のイメージングを提供し、マルチスポットモードと組み合わせると、複数の個々のスポットを一度に検査することができ、ウェーハ上の非常に小さな特徴を調べるのに理想的です。UV 1050には高度なEdge Detection Asset (EDS)も含まれており、形状とサイズの両方の欠陥を評価するために使用できます。EDSはエッジを検出し、この情報を使用してさまざまなタイプの欠陥を特定します。これは、製品の品質が必要な基準を満たしていることを確認するための素晴らしい方法です。このモデルの他の機能には、焦点測定装置(FCS)があり、スポット測定が一貫して正確であることを保証するために使用できます。さらに、KLA/TENCOR/PROMETRIX UV-1050は、すべての構成がグラフィカルに管理されるため、非常に直感的に使用できるように設計されています。全体として、KLA UV-1050は汎用性と包括的なウェハテストおよび計測システムであり、光電子および機械特性の精密測定を提供するように特別に設計されています。製品の品質基準を満たすために、ウェーハの正確で信頼性の高い測定が必要な企業に最適です。
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