中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #293751193 を販売中
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KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050は、測定および分析ツールの包括的なスイートを提供するように設計された高度なウェハテストおよび計測機器です。超高速UVレーザーと洗練された光学系を組み合わせたシステムで、直径200mmまでの薄型ウェハの厚さとトポロジーを迅速かつ正確に測定できます。このユニットは、150kHzのナノレベルの精密変位測定機(DMS)を使用して、ウェーハ表面全体を正確に2軸マッピングします。これにより、傷や汚れなどの微細な表面欠陥を優れた精度で検出することができます。さらに、この技術により、数ナノメートルの分解能レベル内でのフィーチャーサイズの高速かつ高精度な測定が可能になります。また、KLA UV 1050は、直径200mmまでのウェーハ上の広範囲の角度とアプローチ角度にわたって、高解像度の3Dトポグラフィーとステップ高さ測定を提供します。これにより、あらゆる欠陥を正確に識別し、最高品質のウェーハを確保できます。このアセットは、標準化されたモーションフェースプレートを介して工場設備に統合できるため、大規模な製造アプリケーションのプロセスを自動化するのに理想的です。これにより、大量生産のための正確で一貫したデータ収集が保証されます。TENCOR UV-1050は、各製品に合わせたアプローチを可能にするさまざまな測定ツールオプションも提供しています。これには、さまざまなサイズと種類の露出ヘッドと幅広いウェーハサイズとプロセスに対応する計測パレットオプションが含まれます。このモデルは、使いやすいインターフェイスを提供する包括的な制御ソフトウェアパッケージで動作します。ソフトウェアは、ウエハエッジとエッジプロファイルデータのグラフィカルな視覚化を提供し、特定の欠陥を特定し、問題のトラブルシューティングを容易にします。安全性に関しては、TENCOR UV 1050はフィールドバスの安全性、機械の安全性、および防振要件を含むすべての業界標準に準拠しています。さらに、直感的な機械操作と業界標準の安全基準で設計されており、安全で使いやすいです。全体として、UV 1050は高度なウェーハテストおよび計測システムであり、幅広いウェーハサイズとプロセスに対して正確かつ正確な測定を提供します。容易な機械操作および業界標準の安全基準によって、単位はすべての生産の必要性に一貫した、信頼できるデータを提供して確実です。
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