中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #293683730 を販売中

ID: 293683730
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050は、正確で高解像度のイメージング、迅速なポストテスト分析、重要な機能検出を提供するウェーハテストおよび計測機器です。このシステムは、欠陥位置、オーバーレイアライメント、プロセスモニタリングなどの困難なアプリケーションを幅広いプロセス極端に処理するように設計されています。高速レーザー、ウェーハのシンギュレーション、フルイメージングオートメーションを活用することで、迅速なフィードバックを可能にします。KLA UV 1050は最先端の光学ユニットを備えており、ウェハフィールド全体の照明条件でも可能なライトガイドと、最高性能を保証する最新のHigh Qレーザーを備えています。TENCOR UV-1050は、高度なステージマシンと5 µmの小さなスポットサイズを備えており、タイトなパターンでも優れたイメージングと計測精度を提供します。UV 1050は、フォーカスの自動深度と自動対角補正を備えた内蔵のモーター式Zスライドも備えています。Zスライドは、高速で正確な動きを提供し、20µmまで調整することができ、高解像度ウェーハのアライメントと位置決めを可能にします。さらに、このツールは革新的なAuto-Slideシンギュレーションおよびウェハマッピング技術を使用しており、スループットを向上させ、ヒューマンエラーを低減します。UV-1050には、微細粒子の自動洗浄や軽減、蒸気濃縮などの高度な汚染制御機能も搭載されており、イメージング中のウェーハを保護し、品質と効果的なウェーハ監視を実現しています。TENCOR UV 1050には、自動欠陥解析、ツールメンテナンスとデータ記録、包括的なWebベースのレポート資産、ジョブトラッキングモデルなどの高度なソフトウェアスイートも含まれています。複数の言語でカスタムメイドのレポートとデジタルダイアグラムを利用できます。全体として、KLA UV-1050は、プロセス制御、歩留まり管理、および困難なアプリケーションの重要な機能検査のニーズを満たすように設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。迅速なスループット、信頼性の高い画像取得、高度なコンタミネーション制御、包括的なソフトウェアパッケージにより、ウェハテストと計測のための包括的なソリューションとなります。
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