中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #293600853 を販売中
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ID: 293600853
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2005
Film thickness measurement system, 8"
2005 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050は、フォトリソグラフィおよびウェハテストプロセスの品質管理とプロセス監視を必要とする半導体メーカー向けに設計されたウェハテストおよび計測機器です。自動メトロロジー、欠陥レビュー、歩留まり解析機能を1つのプラットフォームに統合し、プロセス開発と品質管理アプリケーションの両方に包括的なソリューションを提供します。KLA UV 1050は、レーザー技術と特許取得済みのレーザーオートフォーカスシステムを採用し、優れた精度と部品同士の再現性で重要な寸法を測定します。精密な色測定のための分光光度測定を組み込んでおり、反射率のわずかな違いを検出することができます。さらに、このユニットは、高精度で小さなジオメトリと大きなクリアランスにまで特徴を測定する能力を持っています。TENCOR UV-1050は、使いやすいデータエントリマシンと直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を提供する強化されたユーザーインターフェイスを備えており、迅速な操作を容易にします。このツールは、測定時間を短縮し、手動データ入力に関連するエラーを排除します。さらに、この資産には強力な欠陥レビュー機能があり、オペレータは詳細な欠陥レポートを生成し、ウェーハのバリエーションをすばやく特定することができます。PROMETRIX UV 1050は、従来の高価な単波長システムに代わる費用対効果の高い代替品であり、パフォーマンスの向上とメンテナンスの簡素化を実現します。さらに、外部システムと統合することができ、自動アライメントとフォーカス制御、および長期的なプロセス監視と分析を可能にします。モチーフや特殊形状のリアルタイム解析を可能にする高度な機能抽出アルゴリズムを搭載しています。ウエハテストおよび計測機能に加えて、オーバーレイを容易にし、eビーム検査機能を提供するように設計されています。オーバーレイ性能に関連するプロセス変動を識別および診断するための洗練されたin-situ解析を提供します。この機能は、デバイスと基板の相互作用の品質と半導体デバイスの全体的な精度を保証するのに役立ちます。これらのすべての機能とUV 1050の高速スキャン機能を組み合わせることで、ハイエンドのパフォーマンスを必要とするアプリケーションを迅速かつ正確に、コスト効率よく完了させることができます。KLA UV-1050は、信頼性の高い正確なウェーハテストと計測ソリューションを求める人にとって理想的な選択肢です。
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