中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX SpectraMap SM 300 #9204663 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX SpectraMap SM 300はウェハテストおよび計測機器です。ウエハ表面測定の正確なリアルタイム情報をサブナノメートル分解能で提供します。その設計は、高度な計測機能と、ウェーハ断層検出およびインライン歩留まり管理のための改善された測定性能を提供します。このシステムは、従来のプロセス工程から最先端の3D反転リソグラフィ技術まで、すべてを検査することができます。複雑なウェーハパターンのために、さまざまなプロセス工程を最適化するように設計されています。可変取得速度、自動フォーカスマッピング、自動チューンマッチングなどの機能により、平面化または平面化されていないウェーハトポロジの表面および地形測定を最適化します。KLA SpectraMap SM 300は、独自の設計とアルゴリズムを使用して、自動メサ検出、コーナー検出、およびその他の形態のウェーハ断層解析および特性評価を実現します。このユニットは、ステップアンドリピート、エリアスキャン、自動、マニュアルなど、さまざまな検査モードにも対応しています。このマシンは計測テスト機能を備えており、ユーザーはウェーハ表面をすばやく分析できます。高速光処理により、ウェーハ材料の高さ、厚さ、表面形状、特性を迅速かつ正確にマッピングできます。ウェーハの上面や底面の不規則性などの異物を素早く検出、ローカライズ、分類することができます。アセットの自動SR3D （Structure Real-time 3D）検査モードは、従来の方法よりもはるかに高速でさまざまな種類の欠陥や特性を検出できます。このモデルは、リアルタイムの欠陥レビュー、結果と画像の自動アーカイブ、および化学的および物理的な分析を提供することもできます。TENCOR SPECTRAMAP SM300は、優れた性能を備えた信頼性が高く、費用対効果の高い機器です。その汎用性の高い設計により、電子ビーム検査やナノフォーカスイメージングなど、さまざまな機能を組み込むことができます。高度な機能と計測機能を備えたこのシステムは、完璧なリアルタイムウェーハ検査と計測ソリューションを提供します。