中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX SM 300 #9188572 を販売中

ID: 9188572
Film thickness mapping system Heads Manual included.
KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 300は、ウェーハの品質を測定およびテストするために特別に作成された機器です。高速、高精度、広範囲、可変用途に対応した大容量を誇ります。KLA SM 300は、部品が適切に製造されていることを確認するために製造プロセスから続く完全な計測システムの一部であるように設計されています。現在の半導体生産において重要なウエハのイメージング、欠陥認識、位置精度など、いくつかの機能を提供しています。このユニットは、ウェーハの品質を維持するために協力するさまざまなコンポーネントで構成されています。TENCOR SM 300の光学サブシステムは、用途に応じて白色と赤色の両方のレーザービームを使用します。これらのレーザーは一緒に使用され、欠陥を迅速かつ正確に測定、検査、認識するのに役立ちます。アライメントマシンは精密で正確なイメージングを提供し、検査システムはリアルタイムで詳細な分析を提供します。PROMETRIX SM 300の測定サブシステムは、高速かつ正確な線形測定機能を備えているため、ウェハ品質が維持されます。この測定システムは、ウェハ形状、表面粗さ、およびエッジの特徴に関する詳細を提供します。欠陥検出サブシステムは、光学顕微鏡、音響顕微鏡、イメージングを使用して、ウェーハの欠陥を迅速かつ正確に検出します。最後に、SM 300の計測ソフトウェアは、測定、画像キャプチャ、および分析サブシステムからの入力を処理します。このデータは、ウェーハの生産性、精度、性能を分析、比較、評価するために使用されます。ソフトウェアはまた、ウェーハのパフォーマンスに関するメトリックを提供するレポート機能やプロット機能を可能にします。全体として、KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 300は、ウェーハの品質を測定およびテストするための信頼性の高い効率的なツールです。高速・高精度・大容量で様々な用途にご利用いただけます。さまざまなコンポーネントとソフトウェアにより、ウェハの品質が維持され、生産性とパフォーマンスが追跡されます。
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