中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX SM 300 #9105330 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 300は、表面解析、欠陥検査、計測、欠陥特性評価などのさまざまな機能を実行するウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、スキャナ、決定論的なウエハハンドリングユニット、およびカスタム要件のためのさまざまなオプションで構成されています。KLA SM 300は、幅広いタスクに先進技術を使用しています。5メガピクセルの解像度を持つ高度なデジタル顕微鏡を搭載しています。これにより、フィルム構造のイメージング、表面トポロジー、欠陥形態などの様々な操作が可能になります。この顕微鏡は、膜厚の測定や微細構造の評価にも使用されます。さらに、TENCOR SM 300は、ウェーハ表面の欠陥や欠陥を解析するパターン認識機能を備えています。機械は高いスループットで小さい欠陥を検出することができ、異なった種類の欠陥を区別できます。これにより、不良箇所を迅速に特定し、品質管理を向上させることができます。SM 300の決定論的ウェーハハンドリングツールには「、エッチングプロービングステージ」と「高解像度検査ステージ」の2段階があります。Etchプロービングステージは、高解像度のイメージングアセットとウェッジプローブ技術を備えており、表面下のウェーハのイメージングを可能にします。さらに、高解像度検査ステージには、微細構造のイメージングとウェーハのプロファイルの測定のための非接触技術が含まれています。PROMETRIX SM 300は、アスペクト比の測定、プロファイルの測定、重要な寸法、パターンメトリックなどの詳細な測定を提供することができます。計測測定は、パス/フェイルの意思決定プロセスを最適化し、製品の品質を向上させるためにも使用されます。KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 300は使いやすく、直感的なユーザーインターフェイスを備えているため、あらゆる環境に適しています。また、精度と精度のための校正ツールが含まれており、自動化された手順を提供します。パーティクルカウンターや専用ソフトウェアパッケージなどの専用アクセサリーをオプションでご用意しています。KLA SM 300は、高度なウェーハテストおよび計測モデルであり、ウェーハソート、欠陥スキャン、計測のためのフルスイートの機能を提供します。この装置は高速で信頼性が高く正確であり、品質テストと評価の簡単な方法を提供します。