中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX SM 300 #9095270 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 300はウェハテストおよび計測機器です。半導体製造に使用されるツールで、ウェーハが仕様や品質基準を満たしていることを保証します。KLA SM 300は、ウェーハの電気特性を効率的に測定するために設計された自動ハイスループットシステムです。これは、複数のウエハタイプ、サイズ、およびダイコンフィギュレーションに対応するように設計されています。本体はメインフレーム、ウェーハカセット、計測ヘッドで構成されています。メインフレームには、コンピュータ、制御エレクトロニクス、電源、真空チャンバーなど、試験運用に必要なすべての電子機器が含まれています。ウェーハカセットには、テスト対象のウェーハが含まれており、さまざまなサイズのウェーハを受け入れるように構成することができます。計測ヘッドはプログラマブルポジショナー付きのロボットアームで、正確な計測位置決めが可能です。TENCOR SM 300は、接触アプローチ、漏れ電流、トランジスタ漏れ、高電圧破壊、静電容量電圧、静電容量抵抗、シート抵抗など、さまざまなテストを実行できます。また、高電力ストロボ機能を搭載しており、高電圧で動作する部品を含むウエハの測定が可能です。PROMETRIX SM 300は、高度なレーザー干渉計を使用してウェーハの正確な位置決めを行います。計測データを自動的に保存・解析できるデータ収集ツールを搭載しています。さらに、この資産は、MIL-STD 883やUL 60950などの工業規格に準拠しています。SM 300は、多くの高精度で複雑なテストを組み合わせ、ユーザーがウェーハの品質を包括的に理解できるようにするため、半導体業界の強力なツールです。高速で複数のウェーハを同時に処理できるため、製造メーカーは高品質と信頼性を維持しながら、製品開発サイクルと全体的なコストを削減できます。