中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX SM 200 #189550 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 200は、KLA Corporationが開発した、信頼性の高い、高精度の自動ウェーハ試験および計測システムです。その優れた分析機能は、独自のプラットフォームであるTENCOR Autonomous Mapping Unit （KAMS）に由来します。本機は、KAMS独自のビジョンアルゴリズムと3次元登録により、従来のミスアライメントスキャンシステムで実現可能なものをはるかに超えた精度と精度でウェーハパターンを測定します。KLA SM 200ツールには、イメージセンサー、検出器、KAMSソフトウェアという3つの主要なコンポーネントがあります。イメージセンサは3チャンネルのCCDデジタルカラーカメラで、機械のメモリにデジタル化されて保存されたウェーハパターンの高解像度画像をキャプチャすることができます。この検出器は、KAMSが開発したアルゴリズムを使用して、さまざまなセンサーを使用してウェーハパターンのサイズと形状を測定し、欠陥や不適合を検出する統合された分割波長フォトメトリー資産です。最後に、KAMSソフトウェアはモデルの頭脳であり、強力な分析とパターンを迅速かつ詳細に分析する能力を提供します。TENCOR SM 200は、高度な半導体ウェーハの大量生産に最適です。高度な分析機能により、複数の基板を同時に正確に測定および検査することができ、一貫した結果と再現性を提供します。また、自動および半自動マクロなどのオペレータ介入時間を短縮し、手動入力なしで複雑な測定サイクルを繰り返す機能も備えています。SM 200は、画面上のデータプレゼンテーションツール、エラー警告、およびPROMETRIXの広範なサービスおよびサポートパッケージへのアクセスをユーザーに提供します。注目すべき特徴の1つは、モジュラーメトロロジースイートです。これにより、ユーザーは機器を特定のニーズに合わせてカスタマイズできます。例えば、ウェーハの欠陥を検出するために光度測定と分光測量を行う分光マッピングパッケージなど、さまざまな高度な分析ツールを追加することができます。全体として、PROMETRIX SM 200システムは、製造メーカが製造するデータを確実かつ信頼して高品質のウェーハを製造することを可能にする、よく設計されたソリューションです。比類のない精度と精度を提供し、使いやすさで大量生産プロセスに最適です。