中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX SM 150C #9112579 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 150Cは、最高のスループットで複雑なプロセスをプロセス制御および分析するために設計されたハイエンドのウェーハ試験および計測機器です。その特徴の中で、KLA SM 150Cには、ウェハの2Dおよび3D表面フィーチャーの高解像度画像をキャプチャする特殊なイメージングシステムが装備されており、異常、欠陥、および不規則性を検出するための詳細な分析が可能です。オンボード処理およびインテリジェントアルゴリズムは、自動欠陥検出やパーティクルサイジングなどの高度な計測機能をサポートします。このユニットはまた、イメージングとテスト中にウェーハが存在する高精度の電動X-Yステージを誇っています。TENCOR SM 150Cは、アクティブオプティクス、レーザーオートフォーカスマシン、および光学パターン認識によって保証された精度と再現性を備えたSmartscanファミリの一部です。このツールは、幅広い基板、センサ、サンプルタイプに柔軟に調整できます。ステップハイト測定は、高度な共焦点センシング技術と、基板プロファイルおよび高度な歩留まり制御機能をサポートする包括的なソフトウェアツールによって実行されます。Smartscanファミリの一部として、PROMETRIX SM 150Cアセットは他のウェハレベルの計測ツールと統合できます。SM 150Cは、ナビゲーションとユーザビリティを強化するためのユーザーフレンドリーなタッチインタフェース、測定を制御するためのウィンドウベースのソフトウェアパッケージ、SEMulator3D （3Dスキャン電子顕微鏡）やQuaterx （GDSベースの自動調整）などの既製の計測ソフトウェアへのアクセスを提供します。このモデルは、高速スループットと妥協のないサブナノメータ精度を提供し、信頼性の高いプロセス制御を実現するために最適化されています。さらに、この機器は、単一のインストゥルメントのセットアップとクラスタの配置の両方に柔軟性と拡張性を提供します。KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 150Cシステムには、高度なビジョンユニット、リーク検出、平坦度測定、24時間365日のプロセス制御および歩留まり監視など、最大限の機能と価値を保証するいくつかの機能が装備されています。さらに、スナップショット機能やタンパープルーフ機能など、拡張データ保護機能を備えています。KLA SM 150Cは、業界をリードするKLAのカスタマーサービスによってサポートされており、プロセス制御と分析のための最も先進的で丸みを帯びたウェーハメトロジーシステムの1つです。薄膜測定、基板測定から品質管理、欠陥解析まで、TENCOR SM 150Cは品質、速度、信頼性、スケーラビリティを提供し、幅広いプロセス制御および計測アプリケーションをサポートします。