中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #9396481 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75は、成長を続ける半導体産業のニーズに応えるために設計されたハイエンドの自動ウェーハ試験および計測機器です。高精度の多軸検出器を備え、最大16個のウェーハを同時に検査することができます。このシステムは、高解像度の検査および計測機能を備えており、検査側の解像度を高め、計測側の精度を高めることができます。KLA RS75は、最大回転速度24rpm、最大スキャン速度13。7mm/sの200mmから、さまざまなウェーハのサイズをサポートする大型リングステージを備えています。検出器にはインテリジェンスが内蔵されており、自動的に欠陥を識別することができます。TENCOR RS 75には、高感度の多軸ユニットと33個のフォトマルチプライヤーチューブベースの検出器が搭載されています。このマシンは、1Xから4000Xまでの倍率範囲で検出機能を提供します。このツールは、表面トポグラフィ、粒子密度、線幅、表面平坦度、光学パラメータ、CD/X 寸法/Y寸法、コントラスト、ラインエッジ/スペースの粗さ、および3D回路およびパッケージのダイスタックの重要な寸法などの複数のパラメータを測定することができます。さらに、このアセットにはパターン認識ソフトウェアも搭載されており、多軸測定モデルと組み合わせて使用すると、高速で正確な結果が得られます。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS75は、ステージの自動サーフェスキャリブレーション、オートフォーカス検出、ライン幅の測定やパターン認識のための高度なアルゴリズムなど、高精度と再現性を確保するためにさまざまな技術を使用しています。また、装置の騒音を最小限に抑えるために複数の物理シールドを備えており、クリーンルームおよびサンプル汚染データをキャプチャするための統合パーティクルカウンターを備えています。また、過去・現在のデータを検査・分析するために最大200万枚の画像を保存し、歩留まり改善、根本原因解析、マテリアルスクラブを行うことができます。TENCOR RS75は、汎用性の高い試験および計測機能に加えて、包括的な一連のソフトウェアも提供しています。そのフルスイートのソフトウェアは、高度なプログラミング、測定設定、データ処理、および分析機能を提供します。また、ウェーハの表示と分析、複数の画像のオーバーレイ、データセットの比較などのソフトウェアも含まれています。このソフトウェアは、エンジニアがデータを迅速かつ正確にレビューし、リアルタイム分析を行うことができるように設計されています。さらに、パッケージの一部として、RS 75には、ビン留めや重要なプロセスパラメータへの迅速なアクセスなど、半導体製造ニーズに合わせたプロセス制御アプリケーションのツールボックスが含まれています。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 75は、高性能デバイスやビームステアリングMEMSなど、さまざまなアプリケーションの高精度ウェーハ試験および計測に最適なソリューションです。洗練された検出器は高解像度のスキャンユニットを提供し、統合された測定およびデータ処理ツールにより、エンジニアは測定を迅速かつ正確に分析し、重要なプロセスパラメータにアクセスすることができます。大量のデータと包括的なソフトウェアを格納できるPROMETRIX RS 75は、ウェーハテストと計測のためのオールインワンソリューションを提供します。