中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #9304703 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75は、KLA Corporationのウェハテストおよび計測機器です。半導体ウェーハメーカーのニーズに合わせて設計された、完全に自動化されたユーザーフレンドリーなシステムです。KLA RS75は、抵抗、静電容量、インダクタンス、および電圧などの電気パラメータを決定することができます。また、表面トポグラフィ、表面プロファイル、表面粗さ、および表面プロファイルなどの光学パラメータを測定することもできます。TENCOR RS 75は、ウェーハの積み降ろし用のロボットアームを装備した全自動ユニットです。振動と騒音を最小限に抑えるように設計された堅牢で軽量なプラットフォームを備えています。このマシンには8軸アライメントツールがあり、ウェーハが測定アセットと正確に整列することができます。RS 75には、測定精度に影響を与える表面特性を検出するためにウェーハを継続的に監視するデータ収集および信号処理モジュールもあります。KLA RS 75には、CCDカメラと高解像度液晶モニターを内蔵しており、ウェハ表面を正確に観察して欠陥検出を行うことができます。また、ウェーハの直径と半径を正確に測定できる自動ウェーハサイズ検出装置を搭載しています。このシステムは、正確で再現性のある測定を保証するように設計されています。高精度の静電容量センサを搭載しており、感度測定や非接触検出が可能です。堅牢で信頼性の高い設計により、幅広いパラメータにわたって一貫した測定結果が保証されます。さらに、効率的なデータ統合のための高速データ転送機を備えています。KLA RS-75は、研究者から技術者まで、あらゆるレベルのユーザーが正確なウェーハ測定を行うために設計されています。これは、信頼性、再現性、正確なウェーハ測定を提供するために、クラス最高の技術を備えています。その堅牢なデザインは、過酷な産業環境での長期使用を目的としています。