中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #9296599 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75 Wafer Testing and Metrology Equipmentは、半導体プロセスおよびデバイス特性評価の厳しい要求に対応するように設計された、完全に自動化された高スループットソリューションです。KLA RS75は、臨界寸法（CD）測定、ウェーハ形状（WS）測定、表面テクスチャ（ST）測定、プロセス制御など、一連の光学計測ツールを提供しています。TENCOR RS 75は、レーザーをウェーハ全体に向け、ピラミッドミラーを介してデータポイントを収集することによって機能します。この高度な光学スキャンシステムは、サブミクロンの解像度まで測定することができます。堅牢な光学サブシステムと自動マテリアルハンドリングプラットフォームが組み合わされ、ウェーハをさまざまな場所に移動して分析します。さらに、このユニットは、サブミクロンの再現性を提供する最先端のアライメントとポジショニング技術を利用しています。高度な解析ソフトウェアを搭載したTENCOR RS75は、幅広い特性を迅速に収集し、複雑な3Dマップとグラフィックスを生成することができます。この高精度な機械は、従来のマニュアル技術と比較してわずかな時間で正確で再現性のある測定結果を提供します。世界中のファブで使用されているRS75は、歩留まり損失が発生する前に潜在的なプロセスエクスカーションを特定することに依存しています。リアルタイムのプロセス情報により、データ収集とその後の分析のプロアクティブな制御が可能になり、潜在的なプロセスエクスカーションを特定して特徴付ける時間が大幅に短縮されます。PROMETRIX RS75は、高いスループット、迅速なターンアラウンド、優れたデータ整合性により、プロセス制御およびデバイス特性評価用のウェーハ測定に優れたソリューションを提供します。