中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #9097164 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75は、半導体業界において優れた表面検査および欠陥検出機能を提供するウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、ウェーハの製造試験に最適なソリューションであり、信頼性の高い正確な試験結果をユーザーに提供します。KLA RS75は、最大5インチのウェーハを6インチまでサポートするウェーハハンドリングプラットフォームを備えています。これにより、製品テスト構成の範囲でユニットを使用することができます。ウェーハは光学技術と電気技術を組み合わせて検査されます。ウェーハの光学イメージングには4インチ×4インチのイメージングアレイが使用され、電気テストでは特定のセンサー構成を使用して製品とプロセスの障害を検出します。TENCOR RS 75は、ウェーハ表面イメージングと信頼性試験を1つのパスで行う自動データ取得技術を採用しており、高性能な画像処理アルゴリズムにより性能を最適化し、幅広いアプリケーションで信頼性の高い感度を実現しています。これには、表面トポロジの欠陥、汚染、堆積物、およびボイドのスキャン、およびデバイスの故障解析が含まれます。このツールは、欠陥の高さ、欠陥ピッチ、欠陥の深さ、欠陥の最小/最大寸法など、幅広い欠陥測定にも対応しています。このアセットは、ウェーハハンドリング用のロボットアームと統合されており、ウェーハ検査および計測に使用できます。ロボットアームは、+/-0。02ミリメートルの精密移動範囲を持ち、リソグラフィと歩留まり管理のための周辺機器に到達することができます。さらに、このモデルの再現性と精度は、0。2ミクロンのレベルで測定する場合、最大+/-0。1ミリメートルを指定します。RS75はまた、高度なハードウェアおよびソフトウェア制御システムを備えており、装置がプロセス全体にわたって安定していることを保証します。これには、1ピクセルあたり42ミリ秒のデータ取得速度、手動および自動画像キャプチャ、および高度な波形処理機能が含まれます。さらに、測定結果のリアルタイム分析やデータロギングをサポートするために、システムを他のシステムにリンクすることができます。PROMETRIX RS-75は、半導体生産試験に理想的なソリューションであり、信頼性が高く、正確で反復可能な結果を提供します。高度なハードウェアおよびソフトウェア制御システムにより、優れた表面検査および欠陥検出機能を提供し、最高品質の結果を保証します。