中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #293745457 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75ウェーハ試験および計測装置は、半導体装置におけるデバイスパラメータの検査および分析のための高性能で完全自動化されたツールです。これは、特性評価、検証、および品質管理プロセスに役立つ幅広い高度な機能を提供します。KLA RS75は、検査、反射検査、IV曲線、高度な計測システム、および強力なデータ分析ツールを備えた高解像度イメージングステーションを備えたオールインワンソリューションを提供しています。このイメージングステーションは、デジタルイメージ相関（DIC）技術を使用して、高解像度の欠陥および臨界寸法（CD）検査に使用できる真の3D高解像度イメージングを可能にします。TENCOR RS 75の反射検査ユニットは、デバイスの性能に影響を及ぼす可能性のある粒子、ライン端の粗さなどの光干渉を検出するように設計されています。このマシンはまた、より大きな問題を示すことができる異常なパターンを検出するための高度な統計（SPC）およびオンザスポット欠陥分析を提供します。イメージングおよび反射機能に加えて、RS-75はデバイスパラメータを正確に測定するための強力な計測ツールを備えています。これには、最先端の配置精度（EPA）とプロセス制御機能（PC-C）、およびボリューム測定とプロセス制御のための高速マルチチップ計測資産が含まれます。計測モデルには、ウェーハの種類と技術のさまざまな膜厚測定機能とデータ分析機能も含まれています。最後に、装置には、利用可能なイメージングと計測データの両方を分析する高度なツールを備えた包括的なデータ分析スイートが装備されています。この一連のツールは、強力な可視化と包括的な統計データと機能分析を組み合わせており、ユーザーはローカルおよびグローバルなプロセスの傾向を迅速に特定できます。強力で統合された機能を備えたPROMETRIX RS 75ウェハテストおよび計測システムは、最新の半導体の特性評価、検証、品質管理プロセスに最適なソリューションです。