中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #293677302 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75は、半導体ウェーハの歩留まりに重要な寸法と設計に重要な寸法の両方を正確かつ信頼性の高い測定を提供するように設計されたウェーハ試験および計測機器です。KLA RS75は、5方向光学ウェハヘッドを備えた高度な自動光学検査システムを備えており、単一のウェハテストサイクル内でさまざまな計測操作を実行できます。高解像度、高精度のリニアステージを備え、2 μ m以内の精度で測定でき、ウェーハを安定して保持するための大型真空チャックを備えています。この機能により、1つのダイで3つ以上のテスト/計測ポイントを同時に測定することができ、時間を節約し、効率的なプロセススループットを確保できます。TENCOR RS 75はまた、ウェーハ表面にほぼ正常な角度で光を投影するために、Defeo-Illuminatorと呼ばれる特殊な高性能オフアクシス照明マシンを備えています。これにより、検査中の画像のコントラストや解像度が向上し、欠陥の種類や位置を確実に特定することができます。さらに、Defeo-Illuminatorはさまざまなカメラ技術によってサポートされており、反射および非反射検査および計測用途の両方で高品質の画像を取得することができます。TENCOR RS-75はオープンアーキテクチャのソフトウェアに基づいており、データ分析と可視化のためのサードパーティのソフトウェアソリューションと容易に統合できます。さらに、このアセットには一連の高度なソフトウェアツールが付属しており、ユーザーは測定結果を迅速かつ正確に校正、検証、分析することができます。これにより、モデルは再現可能な測定を実現し、生産環境で使用すると最高レベルの一貫性と精度を保証します。最後に、PROMETRIX RS 75機器には、包括的なリソースとサポートパッケージが付属しています。これにより、お客様はシステムを最大限に活用し、ダウンタイムを最小限に抑え、歩留まりを最大化できます。KLAは、お客様がKLA RS 75ユニットを最大限に活用できるように、常にお問い合わせに答え、技術支援を提供しています。