中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #293628452 を販売中

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75
ID: 293628452
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75は、半導体基板の電気的および機械的特性を高精度に測定するウェーハ試験および計測装置です。このシステムは、絶縁体、金属、その他の重層層など、半導体産業で使用されるさまざまな材料の特性を測定するために特別に構成されています。優れたパフォーマンスと使いやすいインターフェイスにより、多目的なデータ収集と分析機能を提供します。KLA RS75は、非常に安定した自動マルチレベルスキャンを備えており、表面残留応力および応力関連パラメータを正確に追跡します。このマルチレベルスキャンは、ウェーハの表面寸法特性を地形、表面粗さ、厚さなどの3次元で素早く測定します。このユニットには、ルーチンの自己キャリブレーション精度を保証する統合された自己キャリブレーションルーチンも組み込まれています。安定したピエゾベースのドライブと広い測定範囲を備えたTENCOR RS 75は、正確で再現性の高い結果を提供します。TENCOR RS-75は、効率的なテストステーション操作のためのモジュラーアーキテクチャで設計されています。さまざまなサンプルホルダーや治具、カスタマイズ可能なスキャンパラメータをウェーハ試験に使用できます。X-Yスキャン、ラインスキャン、円形スキャンなど、複数のサンプルスキャンオプションも利用できます。さらに、複数のビデオ入力オプションにより、テスト中にサンプルをリアルタイムで画像化できます。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 75には、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスが装備されており、ユーザーはパラメータをカスタマイズし、テストプロセスを監視し、テスト結果を確認することができます。使いやすさの特徴は、半導体技術者の間で人気のある選択肢となります。容易なデータ収集および分析のために、機械は応力/ひずみ分析および寿命の圧力分析のようなデータ分析用具の配列を含んでいます。PROMETRIX RS-75は、半導体基板の電気的、機械的、寸法的特性を測定、分析するために不可欠なツールです。このウェーハ試験および計測ツールは、信頼性の高いデータ精度と再現性で優れた性能を提供し、あらゆる半導体関連アプリケーションに最適です。
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