中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #293600639 を販売中

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75
ID: 293600639
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75は、生産プロセスを合理化するために自動化されながら、正確な結果を提供するように設計された高度なウェーハテストおよび計測機器です。このシステムにより、製造メーカーは多くの半導体部品の物理的、電気的、光学的特性をテストしながら、プロセス監視を提供することができます。KLA RS75は、高いスループット、高精度、高感度のウェーハ試験および計測を実現するように設計されています。最大200mmの領域での高速スキャン、カスタマイズ可能なサンプルテーブル、統合された高精度サンプルステージ、およびクイックチェンジテストヘッド構成を備えています。また、素早い画像取得・解析が可能な強力なカメラ工作機械を搭載しています。TENCOR RS 75は、試験および測定にも幅広い機能を提供します。これには、電圧測定、電流測定、静電容量測定、抵抗測定など、さまざまなテストのサポートが含まれます。このアセットは、UV、 VIS、 NIRイメージングをサポートするデュアル光学イメージングモデルを含む光学試験と測定にも対応しています。また、この機器は、特定のニーズに合わせてシステムを構成する際に、ユーザーに高い柔軟性を提供するように設計されています。これには、ユニットをカスタマイズして複数のテストと測定をサポートする機能と、データを収集するためのカスタムユーザプロファイルを作成する機能が含まれます。PROMETRIX RS 75は、ユーザーがテストから収集したデータをすばやく分析できるデータ分析機能も提供しています。この機能は、平均、中央値、標準偏差など、収集されたデータに関するさまざまな統計分析を実行することができます。測定精度を確保するため、TENCOR RS75にはさまざまな安全機能が組み込まれています。これには、ツールへの不正アクセスを防止する安全インターロックマシンと、緊急時にモデルがシャットダウンされることを保証する緊急シャットダウンアセットが含まれます。全体として、RS75は強力で洗練されたウェーハテストおよびプロセス監視装置です。このシステムは、生産プロセスを合理化するために自動化されながら、迅速かつ正確な結果を提供するように設計されており、半導体部品を扱うメーカーにとって理想的な選択肢となっています。
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