中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75/TCA #9135668 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75/TCAは、さまざまなウェーハパラメータの信頼性と高速データ取得を提供するように設計された高度なウェーハテストおよび計測機器です。工業生産環境では、プロセス制御およびエンジニアリングに使用されるウェーハ特性のテスト、測定、分析に使用されます。KLA RS75TCAは、最先端の光学技術とカメラ技術を活用し、ウェーハの特徴と欠陥に関する比類のない情報を提供します。これには、厚さ、オーバーレイ公差、ラインとスペースの幅、クリティカル寸法の高さなどの機能が含まれます。さらに、システムは欠陥の幅、高さ、面積を識別して測定することができます。TENCOR RS-75TCAは、3軸スキャンステージを使用して、正確なデータの取得と測定を保証します。ステージは最先端のモーションコントロールによって駆動され、最大10ナノメートルのモーションレゾリューションを提供します。また、特許取得済みの革新的なダイナミックオートフォーカスを採用しており、パターン構造のフォーカスイメージを迅速かつ正確に作成できます。本機の静電容量式干渉顕微鏡は、優れた光学および測定解像度を提供し、最大1ミクロンの小さな特徴を識別することができます。干渉顕微鏡により、マイクロスケールのウェーハ検査と高度なCD-SEMおよびAFMイメージングが可能です。精密な測定機能に加えて、RS-75 TCAには、迅速なテストとデータ分析を可能にするさまざまな強力な機能が含まれています。これらには、リアルタイムウェハマッピング、自動欠陥検査、高度なデータのトレンド、可視化、分析などが含まれます。これにより、スループットと歩留まりを改善するために対処できるプロセス偏差を迅速に特定できます。TENCOR RS-75/TCAは、さまざまな業界で使用できる非常に信頼性が高く、費用対効果の高い生産ツールです。その比類のない精度により、オペレータはウェーハの特徴と欠陥を迅速にテスト、測定、分析することができ、制御されたプロセスの最適化を可能にします。