中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9312925 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCAは、半導体業界の複雑な要件を満たすように特別に設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、光学系とレーザーの最新の進歩を活用し、ウェーハ表面の高速非接触スキャンを可能にします。ドーパント深さ、欠陥サイズ、抵抗、エッチング深さ、スクラッチ深さ、SEMパラメータなどのデバイスパラメータを正確に測定します。このユニットは、最寄りの従来のスキャン機よりも500xまで高速にウェーハを検査することができます。その柔軟性により、ウェーハサイズに関係なく、高いスループットと再現性の測定が可能です。また、統合された表面解析、プロセス監視、欠陥検出、計測ソフトウェアも付属しています。KLA RS 55 TCAは、広い視野を利用して最大の測定精度を実現しています。最先端の近距離画像処理機能を搭載し、ウェーハ上のサブナノメートル構造に関する洞察を提供します。また、ウェーハ検査用のビジョン光源とイメージング光源を備えています。ビジョンツールの画素解像度は30 μ mで、重要なウェーハ特性を高速かつ信頼性の高い解析が可能です。TENCOR RS-55/TCAは完全に自動化された資産です。これは、完全に統合されたロボットとビジョンモデルを使用して、ウェーハの途切れることなくコリメートされたスキャンを可能にします。この装置は数百のウェーハ測定を同時に行うことができ、1時間で最大1000個のウェーハを測定することができます。このシステムは、清浄度、表面仕上げ、汚染レベルを評価することができます。さらに、視覚力は、最小チップを含むさまざまなウエハサイズに対応するために調整可能です。PROMETRIX RS-55/TCAには、完全に標準に準拠したプロトコルを備えたソフトウェアおよびデータ分析ツールが組み込まれています。そのソフトウェアは、自動機能認識、障害分離、および統計データの傾向を提供します。さらに、このユニットは、高い精度でオートメーションと操作に必要なインテリジェンスを提供します。TENCOR RS-55TCAは、3次元光学面の検査、測定、データロギング用に設計されています。ウェーハの完全な理解と歩留まり最適化のための最適な調整を行うための重要なパラメータを得るのに役立ちます。PROMETRIX RS 55 TCAは、急速に変化する半導体産業にとって理想的なウェハテストおよび計測機です。