中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9312456 を販売中
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KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCA Wafer Testing and Metrology Equipmentは、シリコン基板上のウェハレベルのデバイス構造の正確で信頼性の高い精密測定用に特別に設計されたハイエンド半導体計測装置です。特許取得済みの高解像度画像処理システム、最先端の画像処理、データ処理、解析ソフトウェア、柔軟で直感的なユーザーインターフェイスを備えています。このユニットは、自動計測とウェーハテストを提供し、高精度のウェーハトポグラフィとデバイスパラメータを迅速かつ正確に測定できます。これにより、膜厚、ステップハイト、線幅、オーバーレイなどの重要なパラメータを正確に測定できます。また、測定とウェーハの正確なアライメントと登録、自動検査、シリコンウェーハの光学および電気試験も備えています。KLA RS 55 TCAマシンは、1回の実行で最大16個のフルウェーハをスキャンするために高速で動作することができます。また、エッジプロファイル検出から自動欠陥検査まで、さまざまなオプションを備えた高度なイメージングおよび分析ソリューションを提供します。このツールは、洗浄や硬化などの同時試料前処理プロセスを実行することもできます。これにより、迅速で正確なウエハテストが可能になり、手動操作と再作業の必要がなくなります。独自の画像処理アルゴリズムは、優れた画像コントラストとシャープな画像を提供し、ウェーハの特徴を正確に測定します。このアセットは簡単にアップグレード可能で、ユーザーはシステムを最新の計測技術にアップグレードする柔軟性を提供します。モデルによって提供される高度な自動化機能により、ユーザーはデバイスのテストに関連するコストと時間を削減できます。TENCOR RS-55/TCA Wafer Testing and Metrology Equipmentは、ウェーハテストと計測ニーズに対する費用対効果の高いソリューションです。直感的で使いやすいユーザーインターフェイス、堅牢なデータ処理機能、高度な自動化プロセスを備えています。これにより、半導体構造の高度なデバイス解析からMEMSデバイスの高度な故障解析まで、幅広い産業および研究の計測および材料試験アプリケーションでの使用に最適です。
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