中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9300181 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCAは、ウェーハ上の集積回路と薄膜構造の統合計測および欠陥レビューを提供する高度なウェーハ試験および計測機器です。KLA RS 55 TCAは、KLAの実績ある計測および欠陥レビュー機能と、特許取得済みのTENCORウェハテストプロセスを統合した結果です。これら2つのプロセスをTENCOR RS-55/TCAに統合することで、高品質の計測と高速で信頼性の高い欠陥識別が可能になります。レーザーオートフォーカスユニットを備えた高精度光学顕微鏡、自動画像処理サブシステム、表面欠陥と地下欠陥を識別できる走査型電子顕微鏡（SEM）を搭載しています。このマシンはまた、リアルタイムの欠陥検査とレビュー機能を提供します。この光学系は0。1ミクロンの特長サイズまで構造をイメージすることができます。RS-55TCAには、ダイまたはテストチップ識別、自動フォーカスパラメータ調整、最低コントラストとしきい値制御、リアルタイム欠陥サイズと欠陥領域測定、欠陥サイズ分布解析、ヒストグラム解析、さまざまなタイプの欠陥のパターン認識、自動レポート生成などの幅広いイメージング機能が含まれています。また、自動化されたインタラクティブなウェーハレビューモードを提供し、ユーザーはウェーハレベルまたはサブウェーハレベルの欠陥をすばやく表示および分析できます。このツールは、クリーンルーム環境で動作するように設計されていますが、温度、湿度、圧力範囲の範囲で動作することもできます。この適応機能により、アセットは幅広い業界アプリケーションに理想的です。KLA RS-55TCAモデルの主な利点は、PROMETRIXの高精度の光学およびSEMイメージング技術とよく知られている計測および欠陥レビュー機能を組み合わせることにより、ウェーハ上の欠陥を迅速に識別および分析できることです。その結果、ユーザーはより迅速で正確なプロセス制御と歩留まり向上が期待できます。さらに、機器は市場投入までの時間を短縮し、顧客満足度を向上させることができます。