中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9299450 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCAウェハテストおよび計測機器は、卓越した精度と信頼性を持つ半導体デバイスを測定および分析するために設計された高精度の自動ツールです。KLA RS 55 TCAは、主要な半導体メーカーが製造するウェーハの重要な特性の測定と分析を可能にするさまざまな技術を提供しています。TENCOR RS-55/TCAは、高解像度、高精度のウェーハメトロジーを提供します。計測システムは、光学イメージングと分光法、抵抗、静電容量、およびパラメータ解析を使用して、デバイス特性の正確な測定を取得します。また、計測ユニットは、1つのツール構成で複数のダイ間で測定する機能を持ち、1つの画像で複数のダイを測定することができます。また、KLA RS-55 TCAはウェーハ欠陥検査を自動化しています。光学イメージング、無線周波数検査、赤外線イメージング、水晶微小バランス検査など、欠陥検査には4つの技術を使用しています。このツールには高度なパターン認識アセットが装備されており、ウェーハの表面に表示される欠陥を識別して報告することができます。KLA RS-55TCAには、プロセス制御のためのさまざまな高度な機能が含まれています。独自のセンサプラットフォームと強力な計算機能により、実際のプロセスパラメータを設定した目標値に対して効果的に監視できます。このモデルは、設定された目標値からのずれを検出して示すことができ、品質問題を防止するためのリアルタイムの是正措置を可能にします。TENCOR RS 55 TCAには、データの保存、検索、分析を可能にする統合データ収集装置（DAQ）も含まれています。システムは後で検索とレビューのためのデータを保存し、収集されたすべてのデータをユニットの停止から保護します。このマシンの直感的なユーザーインターフェイスは、データ分析を簡素化し、プロセスの傾向をレビューし、問題領域を分離することを容易にします。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55 TCAは、低いメンテナンス要件で完璧なパフォーマンスを提供するように設計されています。このツールには、1つの部品を交換する必要がある場合に独立した部品を簡単に交換できるモジュラー設計が装備されています。さらに、アセットはアジャイルアーキテクチャに基づいて構築されており、デバイスメーカーの進化するニーズに対応するために迅速に更新することができます。要約すると、PROMETRIX RS-55 TCAウェハテストおよび計測モデルは、現在および将来の半導体ニーズに合わせて設計された最先端のウェハテストおよび分析機器です。高解像度計測、自動ウェーハ欠陥検査、強力なプロセス制御機能など、さまざまな高度な機能を備えています。RS-55/TCAは効率的で信頼性が高くメンテナンスが容易であり、そのアジャイルアーキテクチャは半導体技術の将来の革新との互換性を保証します。