中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9293260 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCAは、半導体生産環境における高度なプロセス制御用に特別に設計された高精度ウェーハ試験および計測システムです。高度な自動欠陥検出および分類機能と完全な3D地形マッピングおよび抵抗解析を組み合わせています。KLA RS 55 TCAの自動イメージングオプティクスは、高解像度で広い視野を提供し、優れた検出および分類機能を保証します。このシステムは、特許取得済みの革新的なオートフォーカス機能を備えており、画像を継続的に評価し、画像レンズを補正して最大シャープネスと画像忠実度を保証します。また、高精度な地形マッピングのためのダイナミックマッピング技術も組み込まれています。TENCOR RS-55/TCAは、卓越した精度と信頼性でナノスケールの欠陥を検出することができます。特許取得済みの欠陥分類システムは、確率的な手法を使用して、複雑な欠陥を迅速に検出し、確実に分類します。これにより、重大な欠陥のみが報告されます。また、3D光学プロフィロメトリーや電気測定などの高度な欠陥解析が可能で、エッチングの深さや抵抗などの特性を測定することができます。KLA RS-55TCAは、洗練されたソフトウェアアーキテクチャを通じてトレーサビリティと再現性を提供します。その複数のレシピと完全に自動化されたイメージングおよび計測プロセスにより、オペレータはさまざまなデバイスを素早くセットアップしてテストすることができます。これにより、スループットが向上し、欠陥率が低下し、製造歩留まりが改善されます。RS-55TCAはモジュラー設計でオープンアーキテクチャであり、他の生産プロセスやロボットシステムに容易に組み込むことができます。その堅牢でモジュラー構造と優れた機械ビルド品質は、過酷な産業環境でのパフォーマンスを保証します。RS-55 TCAは、KLAの世界クラスのアプリケーション固有のソフトウェアと組み合わせることで、ウェーハテストと計測のトータルソリューションを提供します。